[發明專利]聲波傳感器

在審

• 申請號: 201710707737.0
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107764392A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: A·德厄;M·多夫梅斯特;U·施密德;M·施奈德
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01H11/08
• 分類號: G01H11/08
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 鄭立柱

1.一種聲波傳感器，具有：

能夠通過待檢測的聲波偏轉的連續的膜片，以及

在膜片上提供的壓電層，所述壓電層具有多個壓電層部段，所述壓電層部段分別配置有至少兩個各自的電接觸結構，所述電接觸結構設置用于與相應的所述壓電層部段電接觸，其中對應于不同壓電層部段的電接觸結構彼此分開。

2.根據權利要求1所述的聲波傳感器，其中所述多個壓電層部段具有內壓電層部段和外壓電層部段，其中所述外壓電層部段比所述內壓電層部段布置在更接近所述膜片的外周處，

其中所述內壓電層部段可選地大致布置在所述膜片的中間部段中。

3.根據權利要求1或2中任一項所述的聲波傳感器，其中所述內壓電層部段和所述外壓電層部段中的至少一者或兩者具有實質上旋轉對稱的形狀。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的聲波傳感器，其中所述內壓電層部段和所述外壓電層部段中的至少一者或兩者具有環形的形狀。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的聲波傳感器，其中至少一個壓電層部段或所有壓電層部段具有多個在所述膜片周向上依次布置的壓電層部段區段。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的聲波傳感器，其中所述壓電層部段中的至少兩個彼此電串聯連接；或/和

其中壓電層部段的多個壓電層部段區段中的至少兩個或全部彼此電串聯連接。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的聲波傳感器，其中至少一個壓電層部段的電接觸結構具有電極對，所述電極對對應于用于與所述壓電層部段電接觸的所述壓電層部段。

8.根據權利要求7所述的聲波傳感器，其中所述電極對具有上電極和下電極，其中對應于所述上電極和所述下電極的壓電層部段在與所述膜片的厚度方向平行的方向上至少部分地布置在所述上電極和所述下電極之間。

9.根據權利要求5和8所述的聲波傳感器，其中所述上電極和所述下電極具有對應于相應的所述壓電層部段區段的上電極區段或下電極區段，其中所述壓電層部段區段在與所述膜片的厚度方向平行的方向上布置在相應的所述上電極區段和所述下電極區段之間。

10.根據權利要求6和9所述的聲波傳感器，其中在所述膜片周向上布置在兩個緊鄰的壓電層部段區段之間的壓電層部段區段的所述下電極區段與所述相鄰壓電層部段區段中的一個壓電層部段區段的上電極區段電連接，并且所述壓電層部段區段的所述上電極區段與相應的所述相鄰壓電層部段區段中的另一個壓電層部段區段的下電極區段電連接。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的聲波傳感器，還具有：支撐所述膜片的保持件。

12.根據權利要求11所述的聲波傳感器，其中所述保持件凸出超過所述膜片的與所述壓電層對置的面。

13.根據權利要求12所述的聲波傳感器，其中所述保持件與所述膜片的外周處于物理接觸，

其中所述保持件可選地在所述膜片的周向上與所述膜片的超過50％的外周處于連續物理接觸，

其中所述保持件進一步可選地在所述膜片的周向上與所述膜片的超過75％的外周處于連續物理接觸，

其中所述保持件進一步可選地與所述膜片的整個外周處于連續物理接觸。

14.根據權利要求13所述的聲波傳感器，其中所述保持件具有大致呈環區段狀的形狀或大致呈環形的形狀。

15.根據權利要求1至14中任一項所述的聲波傳感器，其中所述膜片具有在約500μm至約2000μm范圍中的直徑，或/和其中所述膜片具有在約100nm至約1000nm范圍中的厚度。

16.根據權利要求1至15中任一項所述的聲波傳感器，其中所述壓電層具有在約100nm至約500nm范圍中的厚度。

17.根據權利要求7至16中任一項所述的聲波傳感器，其中所述電極中的至少一個或所有電極具有在約100nm至約300nm范圍中的厚度。