[發明專利]濃水處理方法及硅片脫膠方法

有效

• 申請號: 201710707481.3
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107473331B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 張超;鄧浩;郭江濤;高攀紅;魏超鋒;曹明奇;辛麗
• 申請（專利權）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: C02F1/42
• 分類號: C02F1/42;C02F5/10;C02F5/12;C02F5/14;C02F9/04;H01L31/18;C02F103/34
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 鐘歡

1.濃水處理方法，其特征在于，其向純水制備過程中產生的濃水中加入離子交換樹脂和/或絡合劑，將所述濃水處理成硅片脫膠用水，所述硅片脫膠用水的電導率不超過1mS/cm，硬度不超過300mg/L；

當所述濃水的電導率低于0.5mS/cm、且硬度低于100mg/L時，僅向所述濃水中加入所述絡合劑，將所述濃水處理成所述硅片脫膠用水；

當所述濃水的電導率不低于0.5mS/cm、且硬度不低于100mg/L時，首先向所述濃水中加入所述離子交換樹脂，再加入所述絡合劑，將所述濃水處理成所述硅片脫膠用水；

所述離子交換樹脂選用苯乙烯體系樹脂、丙烯酸—甲基丙烯酸酯體系樹脂、苯酚—間苯二胺體系樹脂、環氧氯丙烷體系樹脂中的一種或多種；

所述絡合劑選用檸檬酸、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉、葡萄糖酸鈉、乙二胺四甲叉膦酸鈉、二乙烯三胺五甲叉膦酸鹽中的一種或多種。

2.硅片脫膠方法，其特征在于，至少包括硅片脫膠用水的制備步驟，所述硅片脫膠用水的制備采用如權利要求1中所述的濃水處理方法；在脫膠裝置中，用制備得到的所述硅片脫膠用水對切割完畢的硅片進行包括噴淋、漂洗步驟的脫膠工序；

純水制備過程中產生的濃水電導率低于0.5mS/cm、硬度低于100mg/L時，向所述濃水中加入作為絡合劑的檸檬酸、乙二胺四乙酸和葡萄糖酸鈉，獲得所述硅片脫膠用水；

純水制備過程中產生的濃水電導率為0.5～1mS/cm、硬度為100～300mg/L時，所述濃水處理成所述硅片脫膠用水的方法具體為：首先加入作為離子交換樹脂的苯乙烯體系樹脂和丙烯酸—甲基丙烯酸酯體系樹脂；再加入作為絡合劑的檸檬酸、乙二胺四乙酸二鈉、葡萄糖酸鈉和乙二胺四甲叉膦酸鈉；

純水制備過程中產生的濃水電導率超過1mS/cm、硬度超過300mg/L時，所述濃水處理成所述硅片脫膠用水的方法具體為：首先加入作為離子交換樹脂的苯乙烯體系樹脂、丙烯酸—甲基丙烯酸酯體系樹脂、苯酚—間苯二胺體系樹脂和環氧氯丙烷體系樹脂；再加入作為絡合劑的檸檬酸、乙二胺四乙酸二鈉、葡萄糖酸鈉和二乙烯三胺五甲叉膦酸鈉。

3.如權利要求2所述的硅片脫膠方法，其特征在于，所述硅片脫膠用水用于噴淋，水的溫度不超過60℃；所述硅片脫膠用水用于漂洗，所述硅片在所述硅片脫膠用水中的浸泡時間不超過90min。