[發(fā)明專利]一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710707431.5
• 申請(qǐng)日: 2017-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN107255907B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛元杰;侯學(xué)成;盧凱;李京鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;G03F7/20
• 代理公司: 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本發(fā)明提供了一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法。其中，本發(fā)明提供的曝光裝置，可以通過曝光機(jī)基臺(tái)和曝光機(jī)出光口之間的補(bǔ)償裝置，調(diào)節(jié)出不同濃度的有色溶液對(duì)曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋。待處理膜層中膜厚越薄的位置，投影位置處有色溶液的濃度越高，從而對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償，以實(shí)現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性，使得曝光后在基板上形成精密的結(jié)構(gòu)尺寸。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法。

背景技術(shù)

TFT-LCD平板顯示器，以其優(yōu)良的性能、易于大規(guī)模生產(chǎn)的特性，成為了當(dāng)今主流的顯示設(shè)備。隨著TFT-LCD生產(chǎn)技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)精度的要求也在不斷提升。

TFT-LCD制備過程中的光刻技術(shù)是形成特定圖案的主要手段，也是影響生產(chǎn)精度的重要技術(shù)。光刻需要光刻膠(光阻)材料的配合，但是現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備對(duì)于涂膠的精度要求相對(duì)較低，需要通過后續(xù)甩膠的工藝來達(dá)到光刻膠的均一性。在生產(chǎn)過程中，涂膠設(shè)備的涂膠厚度不夠均一，這種現(xiàn)象就會(huì)導(dǎo)致在同一個(gè)曝光速度下，使得不同位置關(guān)鍵尺寸存在較大差異。該差異嚴(yán)重影響了產(chǎn)品尺寸的均一性。特別是對(duì)于高分辨率產(chǎn)品，將使得關(guān)鍵部位的尺寸產(chǎn)生波動(dòng)，嚴(yán)重降低產(chǎn)品精細(xì)化程度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法，以解決待處理膜層膜厚不均一導(dǎo)致產(chǎn)品尺寸精細(xì)化程度低的問題。

一方面，提供了一種補(bǔ)償裝置，應(yīng)用于曝光機(jī)，所述補(bǔ)償裝置包括溶液盒；

所述溶液盒內(nèi)注有有色溶液，其中，所述有色溶液用于調(diào)節(jié)曝光機(jī)出射光線的透過率，以對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

進(jìn)一步地，所述補(bǔ)償裝置還包括樹脂外盒，所述樹脂外盒包括至少一個(gè)槽位，各槽位分別用于容置注有所述有色溶液的溶液盒。

進(jìn)一步地，所述各槽位內(nèi)的溶液盒中有色溶液的濃度為預(yù)先配置的，其中，每一溶液盒內(nèi)的有色溶液的濃度均一；所述各槽位內(nèi)的溶液盒中有色溶液的濃度分別由投影位置處所述待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量確定。

進(jìn)一步地，所述溶液盒一側(cè)外表面上設(shè)有至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極，所述溶液盒的周邊設(shè)有與所述觸點(diǎn)電極匹配的對(duì)電極，所述觸點(diǎn)電極和所述對(duì)電極均與所述溶液盒內(nèi)的有色溶液連通，其中，所述有色溶液中包含顯色離子；所述補(bǔ)償裝置還包括：電刷；所述電刷的一端可與所述觸點(diǎn)電極電連接；當(dāng)進(jìn)行定量補(bǔ)償時(shí)，所述電刷移至目標(biāo)觸點(diǎn)電極，所述補(bǔ)償裝置通過調(diào)節(jié)施加在所述電刷上的電壓控制所述目標(biāo)觸點(diǎn)電極與所述溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差，改變所述有色溶液中顯色離子的分布，以調(diào)節(jié)所述目標(biāo)觸點(diǎn)電極處有色溶液的濃度。

進(jìn)一步地，所述觸點(diǎn)電極由透明材料制成；多個(gè)所述觸點(diǎn)電極在所述溶液盒一側(cè)外表面上呈矩陣分布。

另一方面，還提供了一種曝光裝置，包括：曝光機(jī)基臺(tái)和曝光機(jī)出光口，以及上述補(bǔ)償裝置；

在使用所述曝光裝置進(jìn)行曝光時(shí)，所述補(bǔ)償裝置位于所述曝光機(jī)基臺(tái)和所述曝光機(jī)出光口之間，用于對(duì)位于所述溶液盒下方的待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

另一方面，還提供了一種曝光補(bǔ)償方法，包括：

根據(jù)待處理膜層的膜厚分布，確定補(bǔ)償區(qū)域以及所述補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量；

調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置，使溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量匹配；

利用所述補(bǔ)償裝置對(duì)所述待處理膜層進(jìn)行曝光。

進(jìn)一步地，在調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置之前，還包括：預(yù)先制備溶液盒；所述制備溶液盒的步驟進(jìn)一步包括：獲取所述有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對(duì)應(yīng)關(guān)系制備溶液盒，所述溶液盒內(nèi)的有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量對(duì)應(yīng)。