[發明專利]一種驅動力解耦的三自由度大行程微定位平臺

有效

• 申請號: 201710706166.9
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107464586B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 霍至琛;王福軍;梁存滿;田延嶺;張大衛
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10;G12B5/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 程小艷

1.一種驅動力解耦的三自由度大行程微定位平臺,包括微動平臺基體，其特征 在于，所述微動平臺基體從下至上依次包括底板、中間部分以及頂層部分；

所述底板的四個頂角上均布置有凸臺，用于支撐所述頂層部分，相鄰的兩個所述凸臺之間連接有平行板導向機構，所述平行板導向機構的中部設置有中央凸臺，在所述底板的X 向和 Y 向一端的中央凸臺處分別布置一個音圈電機驅動器；

所述頂層部分由外至內依次設置有柔性鉸鏈變形結構、動平臺以及輸出平臺，所述柔性鉸鏈變形結構由一個沿所述動平臺對稱軸方向布置的直角板簧片式柔性鉸鏈和兩個沿所述動平臺對稱軸方向對稱布置的直角板簧片式柔性鉸鏈構成，兩個沿所述動平臺對稱軸方向對稱布置的直角板簧片式柔性鉸鏈的兩端連接所述凸臺，中間連接傳動構件，所述傳動構件與所述平行板導向機構連為一體；

所述動平臺中央設置有輸出平臺，所述輸出平臺兩端分別通過桿杠放大機構連接有壓電陶瓷驅動器，平行設置驅動輸出平臺繞垂直XY平面的中心線轉動；

所述中間部分的中央設置有兩個傳遞梁，其中傳遞梁Ⅰ用于連接所述中間部分以及頂層部分的 Y 向兩端的柔性鉸鏈變形結構，其中傳遞梁Ⅱ用于連接所述中間部分以及頂層部分的 X 向兩端的柔性鉸鏈變形結構。

2.根據權利要求 1 所述的三自由度大行程微定位平臺，其特征在于，所述一個 沿動平臺對稱軸方向布置的直角板簧片式柔性鉸鏈和兩個沿動平臺對稱軸方向 對稱布置的直角板簧片式柔性鉸鏈的底部均設置有連接柔性鉸鏈板簧開口兩端 的連接桿。

3.根據權利要求 1 所述的三自由度大行程微定位平臺，其特征在于，所述底板 上設置有定位孔。

4.根據權利要求 1 所述的三自由度大行程微定位平臺，其特征在于，所述兩個 音圈電機驅動器相互垂直。

5.根據權利要求 1 所述的三自由度大行程微定位平臺，其特征在于，所述兩個 壓電陶瓷驅動器相互平行。