[發(fā)明專利]基于小波變換模極大值的白光反射動態(tài)測量薄膜厚度方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710704876.8
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107504908A
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設計）人: 鄭永軍;衛(wèi)銀杰;王東輝;李文軍;范偉軍
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 杭州奧創(chuàng)知識產(chǎn)權代理有限公司33272
• 代理人: 王佳健

1.基于小波變換模極大值的白光反射動態(tài)測量薄膜厚度方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)令白光的光源垂直地入射待測薄膜，以獲取WLRS原始信號；

2)將步驟1所得的WLRS原始信號進行二進小波變換；

3)尋找各尺度上所有小波系數(shù)的模極大值點；

4)對步驟3)中的模極大值進行閾值處理；

5)尋找傳播點，并予以篩選；

6)重構(gòu)小波系數(shù)，恢復WLRS信號；

7)對步驟5得到的去噪后的WLRS信號提取特征值，通過特征值求得待測薄膜的膜厚。

2.根據(jù)權利要求1所述的基于小波變換模極大值的白光反射動態(tài)測量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步驟1具體為：白光由點A近垂直進入待測薄膜，在S₁和S₂表面經(jīng)過數(shù)次折射及反射后，其相位發(fā)生變化；通過采集反復折射反射后的光線B₁、B₂、…、B_n，得到WLRS原始信號；設原始信號的模型為：

S(x)＝f(x)+n₁(x)×n₂(x)

其中，S(x)為含噪信號，f(x)為真實信號，n₁(x)為加性噪聲，n₂(x)為乘性噪聲；則信號模型可簡化為：

S(x)＝f(x)+n(x)

其中，S(x)為含噪信號，f(x)為真實信號，n(x)為噪聲。

3.根據(jù)權利要求1所述的基于小波變換模極大值的白光反射動態(tài)測量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步驟2具體為：任意函數(shù)f(t)∈L²(R)的小波變換為：

其中，a為伸縮因子，b為平移因子，為基小波；將上式離散化，便得到f(t)的二進小波變換：

D[Wf(j,k)]=2-j2∫Rf(t)(2-jt-k)‾dt.]]>

4.根據(jù)權利要求1所述的基于小波變換模極大值的白光反射動態(tài)測量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步驟3具體為：經(jīng)過步驟2后，在各尺度上會產(chǎn)生若干個小波系數(shù)；在每一個尺度上，均會有一個最大值t_(max,j)和若干個極大值；先對這些小波系數(shù)求模，然后根據(jù)模最大值設定一個閾值，若比閾值大則保留，若比閾值小則置零，以此來求各個尺度上的模極大值|t_ij|。