[發(fā)明專利]一種測試探測器像元內(nèi)不均勻性的裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710703816.4
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN107449587B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱鵬;賈磊;鄒思成;王建峰;兀穎;張鑫;蘆嘉裕;陳騰;曾顯群;李陶然
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院國家天文臺;中國科學(xué)院大學(xué)
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401
• 代理人: 巴曉艷

1.一種測試探測器像元內(nèi)不均勻性的方法，其特征在于，所述方法將點(diǎn)光源在探測器像元內(nèi)成像，利用探測器拍攝得到點(diǎn)光源在像元內(nèi)不同位置時(shí)的像斑圖像，分析點(diǎn)光源在像元不同位置處的像斑圖像的像斑流量和橢率；

所述方法包括以下步驟：

光源設(shè)置：根據(jù)探測器選擇合適的點(diǎn)光源，使得點(diǎn)光源的像斑尺寸小于探測器像元尺寸；所述點(diǎn)光源在探測器像元內(nèi)成像；

調(diào)焦：移動光軸方向的平臺上的所述探測器，探測器實(shí)時(shí)拍攝點(diǎn)光源成像像斑，計(jì)算探測器拍攝像斑的半高全寬，半高全寬數(shù)值最小時(shí)認(rèn)為是焦點(diǎn)位置，記錄焦點(diǎn)位置，完成調(diào)焦；

像斑校準(zhǔn)：轉(zhuǎn)動所述探測器，探測器實(shí)時(shí)拍攝點(diǎn)光源成像像斑，計(jì)算探測器拍攝像斑的半高全寬、橢率、流量，當(dāng)半高全寬、橢率、流量滿足閾值時(shí)記錄調(diào)整裝置位置，完成像斑校準(zhǔn)；

移動拍攝：使探測器沿一定方向按照一定的步長移動并拍攝，得到不同位置處的像斑圖像；

數(shù)據(jù)分析：分析像斑圖像的像斑流量和橢率。

2.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于，所述光源亮度滿足光斑流量為滿阱的一半。

3.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于，所述移動拍攝步驟中，探測器移動的方向?yàn)閄方向、Y方向和XY方向。

4.一種用于實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1-3任一所述測試探測器像元內(nèi)不均勻性的方法的裝置，所述裝置包括點(diǎn)光源系統(tǒng)和運(yùn)動平臺；

所述運(yùn)動平臺使得待測的探測器在XYZ三維方向上運(yùn)動；

所述點(diǎn)光源系統(tǒng)提供小于探測器像元尺寸的像斑，運(yùn)動平臺置于點(diǎn)光源系統(tǒng)一側(cè)，所述點(diǎn)光源在所述探測器的像元內(nèi)成像；

所述運(yùn)動平臺包括樣品臺、移動機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述樣品臺用于放置待測的探測器而設(shè)置，所述移動機(jī)構(gòu)使得所述樣品臺在XYZ三維方向上移動；所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)使得所述探測器在樣品臺上轉(zhuǎn)動。

5.如權(quán)利要求4所述裝置，其特征在于，所述裝置包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與所述運(yùn)動平臺相連并且控制所述運(yùn)動平臺的運(yùn)動。

6.如權(quán)利要求4所述裝置，其特征在于，所述點(diǎn)光源系統(tǒng)包括依次連接的光源、濾光系統(tǒng)、遮光筒和鏡頭；

所述光源連接有準(zhǔn)直器；

所述濾光系統(tǒng)為可拆卸替換的針孔或針孔轉(zhuǎn)輪；

所述遮光筒和鏡頭間設(shè)置有可拆卸替換的光闌或光闌轉(zhuǎn)輪；

所述遮光筒的長度與鏡頭有關(guān)，遮光筒的長度要大于等于鏡頭的最小對焦距離；

所述運(yùn)動平臺與所述鏡頭的距離不大于鏡頭后截距；

針孔的孔徑根據(jù)不同探測器選擇，利用針孔將像斑調(diào)至探測器亞像元；

光闌的孔徑選擇依據(jù)像質(zhì)，需要使虛焦像質(zhì)中整個圓環(huán)的光的能量均勻分布。

7.如權(quán)利要求5所述裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括分析系統(tǒng)，所述分析系統(tǒng)與所述探測器相連，實(shí)時(shí)分析所述探測器拍攝的圖像的像斑流量和橢率；

所述控制系統(tǒng)可根據(jù)所述分析系統(tǒng)的分析結(jié)果控制所述移動機(jī)構(gòu)的移動。

8.如權(quán)利要求6所述裝置，其特征在于，所述光源為LED光源，光源波長為365nm、385nm、405nm、455nm、470nm、505nm、530nm、590nm、617nm、625nm、660nm、730nm、780nm、810nm、850nm、940nm，根據(jù)待測探測器和觀測需求選擇合適光源。