[發(fā)明專利]體聲波諧振器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710703795.6
• 申請(qǐng)日: 2017-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN107769749B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金泰潤(rùn);李泰京;趙成珉;尹湘基;李文喆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 孫麗妍;金光軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

支撐部，設(shè)置在基板上；

層，設(shè)置在所述支撐部上，其中，氣腔形成在所述基板和所述層之間；以及

框架，在所述氣腔內(nèi)沿著所述層的邊界表面延伸，并與所述支撐部分開，

其中，所述框架與所述基板被所述氣腔間隔開。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述層包括諧振部，所述諧振部包括第一電極、壓電層和第二電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述框架在所述氣腔內(nèi)沿著位于所述諧振部的無(wú)效區(qū)域中的所述邊界表面延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述框架在所述氣腔內(nèi)沿著位于所述諧振部的有效區(qū)域的邊緣處的所述邊界表面延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述框架由包括壓應(yīng)力和拉伸應(yīng)力中的任意一種或兩者的材料形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的體聲波諧振器，其中，所述框架具有極性與所述諧振部的彈性溫度系數(shù)的極性不同的彈性溫度系數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的體聲波諧振器，所述體聲波諧振器還包括在所述諧振部的有效區(qū)域的邊緣處設(shè)置于所述第二電極上的輔助電極。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的體聲波諧振器，其中，所述第二電極具有與所述輔助電極的聲阻抗不同的聲阻抗。

9.一種體聲波諧振器，包括：

支撐部，設(shè)置在基板上；

層，設(shè)置在所述支撐部上，其中，氣腔形成在所述基板和所述層之間；以及

框架，在所述氣腔內(nèi)沿著所述層的邊界表面延伸，其中，所述框架的上表面的寬度大于所述框架的下表面的寬度，并且其中，所述框架的將所述上表面和所述下表面彼此連接的側(cè)表面是傾斜的，

其中，所述框架與所述基板被所述氣腔間隔開。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的體聲波諧振器，其中，所述層包括諧振部，所述諧振部包括第一電極、壓電層和第二電極。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的體聲波諧振器，其中，所述框架在所述氣腔內(nèi)沿著所述諧振部的無(wú)效區(qū)域中的所述邊界表面延伸，并接觸所述支撐部。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的體聲波諧振器，其中，所述框架在所述氣腔內(nèi)沿著所述諧振部的有效區(qū)域的邊緣處的所述邊界表面延伸，并接觸所述支撐部。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的體聲波諧振器，其中，所述層還包括設(shè)置在所述諧振部和所述氣腔之間的膜。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的體聲波諧振器，其中，

所述支撐部包括在遠(yuǎn)離所述氣腔的方向上依次設(shè)置的第一支撐部和第二支撐部；并且

所述膜還設(shè)置在所述氣腔和所述框架之間的邊界處、所述氣腔和所述第一支撐部之間的邊界處、所述第一支撐部和所述第二支撐部之間的邊界處、所述框架和所述第二支撐部之間的邊界處以及所述第二支撐部的上表面上。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的體聲波諧振器，其中，所述支撐部包括在遠(yuǎn)離所述氣腔的方向上依次設(shè)置的第一支撐部和第二支撐部，并且其中，所述第一支撐部由與所述第二支撐部的材料不同的材料形成。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的體聲波諧振器，其中，所述框架在所述氣腔內(nèi)沿著所述邊界表面延伸，并穿過所述第一支撐部和所述第二支撐部的部分。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的體聲波諧振器，其中，所述第一支撐部的厚度和所述第二支撐部的厚度與所述氣腔的厚度相同。

18.根據(jù)權(quán)利要求9所述的體聲波諧振器，其中，由所述下表面和所述側(cè)表面形成的角度為110°至160°。