[發明專利]一種光阻組合物及光阻

在審

• 申請號: 201710702152.X
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN107501478A
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 李穎
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C08F283/01
• 分類號: C08F283/01;C08F283/10;C08F283/00;C08F2/48;C08F291/06;G02F1/1335
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙)44238
• 代理人: 潘中毅,熊賢卿

1.一種光阻組合物，其特征在于，包括：質量百分比為4～10％的樹脂基體、質量百分比為5～8％的顏料/染料、質量百分比為0～5％的活性稀釋劑單體、質量百分比為70～80％的溶劑；

所述樹脂基體中包含有丙烯酸樹脂以及自引發樹脂；

所述自引發樹脂所占的質量百分比為0～2％，且所述自引發樹脂的化學結構式如下：

其中，R為下列化學結構中的任意一種：

C1：–(CH₂)n₁–，n₁<10；CH₂

C2：–(CH₂O)n₂–，n₂<10；

C3：–(CH₂CH₂O)n₃–，n₃<10；

C4：–CH₂CH(OH)CH₂(CH₂CH₂O)n₄CH₂CH(OH)CH₂–，n₄<6；

C5：

C6：

n₅＜6；

C7：

R₁、R₂均分別為化學結構C1、C2、C3、C4中的任意一種；

C8：

n₆＜6；

R’為下列化學結構中的任意一種：

D1：–(CH₂O)n₇–，n₇<10；

D2：–(CH₂CH₂O)n₈–，n₈<10；

D3：–CH₂CH(OH)CH₂(CH₂CH₂O)n₉CH₂CH(OH)CH₂–，n₉<6；

D4：–(CH₂CH₂O)n₁₀–NCO，n₁₀<10；

D5：–(CH₂CH₂O)n₁₁–CH₂OCH₂，n₁₁<10。

2.根據權利要求1所述的光阻組合物，其特征在于，所述丙烯酸樹脂為環氧丙烯酸樹脂、聚氨酯丙烯酸樹脂、聚酯丙烯酸樹脂、聚醚丙烯酸樹脂、純丙烯酸樹脂中的任意一種或者至少兩種的混合物；

且所述樹脂基體中還包含有不飽和聚酯。

3.根據權利要求1所述的光阻組合物，其特征在于，所述光阻組合物還包括質量百分比為0～0.2％的光引發劑，以及質量百分比為0.1％～0.2％的添加劑。

4.根據權利要求1所述的光阻組合物，其特征在于，所述活性稀釋劑單體為丙烯酸烷基酯、丙烯酸羥基酯、乙烯基活性稀釋劑、乙二醇類二丙烯酸酯、丙二醇類二丙烯酸酯、二醇類二丙烯酸酯、烷氧基化丙烯酸酯、乙烯基醚類丙烯酸酯、甲基丙烯酸磷酸酯、含有雜環或苯環的丙烯酸酯、含有活性胺的丙烯酸酯中的一種或者至少兩種的混合物。

5.根據權利要求1所述的光阻組合物，其特征在于，所述自引發樹脂通過A、B兩種結構制備得到，其中A結構的化學結構式如下：

B結構的化學結構式如下：

6.根據權利要求3所述的光阻組合物，其特征在于，所述添加劑為潤濕分散劑，流平劑，阻聚劑中的一種或者至少兩種的混合物。

7.根據權利要求3所述的光阻組合物，其特征在于，所述光引發劑為二苯甲酮、二苯甲酮衍生物中的一種或者至少兩種的混合物。