[發明專利]面向物聯網的自檢測的多余能量收集的懸臂梁恒幅器

在審

• 申請號: 201710697588.4
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN107659281A
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 廖小平;陳晨
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H03G11/00
• 分類號: H03G11/00;G01R21/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種面向物聯網的自檢測的多余能量收集的懸臂梁恒幅器，其特征在于：該懸臂梁恒幅器是基于Si襯底(10)制作的，包括信號線(1)、第一地線(2-1)、第二地線(2-2)、第三地線(2-3)、第四地線(2-4)、第一懸臂梁(3)、第一電容極板(4-1)、第二電容極板(4-2)、第二懸臂梁(5)、第一錨區(6-1)、第二錨區(6-2)、第一下拉極板(7-1)、第二下拉極板(7-2)，其中：信號從信號線(1)的信號線輸入端(1-1)輸入，信號線(1)的信號線輸入端(1-1)和第一地線(2-1)、第二地線(2-2)構成第一共面波導CPW1；

所述第一懸臂梁(3)包括第一懸臂支梁(3-1)和第二懸臂支梁(3-2)，所述第一懸臂支梁(3-1)一端與第一地線(2-1)固接，另一端懸空，且所述第一懸臂支梁(3-1)懸空在第一電容極板(4-1)以及信號線(1)上；所述第二懸臂支梁(3-2)一端與第二地線(2-2)固接，另一端懸空，且所述第二懸臂支梁(3-2)懸空在第二電容極板(4-2)以及信號線(1)上；第一電容極板(4-1)位于信號線(1)和第一地線(2-1)之間第一懸臂支梁(3-1)的正下方，第二電容極板(4-2)位于信號線(1)和第二地線(2-2)之間第二懸臂支梁(3-2)的正下方，第一電容極板(4-1)和第二電容極板(4-2)關于信號線(1)對稱；所述第二懸臂梁(5)包括第三懸臂支梁(5-1)和第四懸臂支梁(5-2)，所述第三懸臂支梁(5-1)一端與第一錨區(6-1)固接，另一端懸空，且所述第三懸臂支梁(5-1)懸空在第一下拉極板(7-1)以及信號線(1)上；所述第四懸臂支梁(5-2)一端與第二錨區(6-2)固接，另一端懸空，且所述第四懸臂支梁(5-2)懸空在第二下拉極板(7-2)以及信號線(1)上；第一下拉極板(7-1)位于信號線(1)和第一錨區(6-1)之間第三懸臂支梁(5-1)的正下方，第二下拉極板(7-2)位于信號線(1)和第二錨區(6-2)之間第四懸臂支梁(5-2)的正下方，第一下拉極板(7-1)和第二下拉極板(7-2)關于信號線(1)對稱，第一錨區(6-1)與第一地線(2-1)、第二地線(2-3)構成第二共面波導CPW2，第二錨區(6-2)與第二地線(2-2)、第四地線(2-4)構成第三共面波導CPW3，第二共面波導CPW2和第三共面波導CPW3作為耦合支路輸出端，第一錨區(6-1)、第二錨區(6-2)均與AC/DC電路連接，AC/DC電路連接充電電池，信號線(1)的信號線輸出端(1-2)與第三地線(2-3)構成第四共面波導CPW4作為輸出端，信號從信號線(1)的信號線輸出端(1-2)輸出,該結構同時實現了信號自檢測和信號恒幅輸出的功能，收集了多余能量，當其應用在LNA中時，不僅可實現自供電，而且，LNA中不再需要AGC模塊，提高了線性度。

2.根據權利要求1所述面向物聯網的自檢測的多余能量收集的懸臂梁恒幅器，其特征在于：所述Si襯底(10)上表面設置有SiO₂層(9)。

3.根據權利要求1所述面向物聯網的自檢測的多余能量收集的懸臂梁恒幅器，其特征在于：所述信號線(1)、第一地線(2-1)、第二地線(2-2)、第三地線(2-3)、第四地線(2-4)、第一電容極板(4-1)、第二電容極板(4-2)、第一錨區(6-1)、第二錨區(6-2)、第一下拉極板(7-1)、第二下拉極板(7-2)設置于SiO₂層(9)的上表面，且所述第一地線(2-1)、第二地線(2-2)位于信號線(1)的軸向兩側，第三地線(2-3)、第四地線(2-4)位于信號線(1)的軸向兩側，第一錨區(6-1)、第二錨區(6-2)位于信號線(1)的軸向兩側，而所述第一錨區(6-1)位于第一地線(2-1)和第三地線(2-3)之間，第二錨區(6-2)位于第二地線(2-2)和第四地線(2-4)之間，所述第一電容極板(4-1)位于信號線(1)與第一地線(2-1)之間，第二電容極板(4-2)位于信號線(1)與第二地線(2-2)之間，第一下拉極板(7-1)位于信號線(1)與第一錨區(6-1)之間，第二下拉極板(7-2)位于信號線(1)與第二錨區(6-2)之間。