[發明專利]傳感器及其制備方法、陣列基板、顯示面板、顯示裝置

有效

• 申請號: 201710696196.6
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN109411604B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 馮翔;楊照坤;王慶賀;劉莎;楊瑞智;張強;謝春燕;邱云
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/10;G01N27/414;G02F1/1362;H01L27/32
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種傳感器，包括薄膜晶體管結構，所述薄膜晶體管結構包括源極、漏極和柵極，其特征在于，該薄膜晶體管結構還包括：設置在所述柵極之上的氣體承載結構，該氣體承載結構中設置有用于承載待測氣體的空隙；

所述氣體承載結構包括柵絕緣層和位于所述柵絕緣層之上的有源層；

所述空隙設置于所述柵絕緣層上，所述柵絕緣層包括多個絕緣子層，相鄰的兩個絕緣子層之間形成所述空隙；

在所述空隙的延伸方向上，所述有源層的寬度小于所述柵絕緣層的寬度；所述有源層并不完全覆蓋所述柵絕緣層。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，任意相鄰的兩個絕緣子層之間的間距相等，且任意相鄰的兩個空隙之間的間距相等。

3.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述絕緣子層在垂直于所述柵極的方向上的投影為矩形。

4.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述有源層的材料為有機半導體材料。

5.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述絕緣子層的材料包括氮化硅。

6.一種陣列基板，其特征在于，包括權利要求1～5任一權利要求所述的傳感器。

7.一種顯示面板，其特征在于，包括權利要求6所述的陣列基板。

8.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求7所述的顯示面板。

9.一種制備權利要求1～5任一權利要求所述的傳感器的方法，包括設置薄膜晶體管結構源極、漏極和柵極的步驟，其特征在于，該方法還包括：

設置氣體承載結構，該氣體承載結構中設置有用于承載待測氣體的空隙；

所述氣體承載結構包括柵絕緣層和位于所述柵絕緣層之上的有源層；

所述空隙設置于所述柵絕緣層上；

在垂直于所述柵極的方向上，所述有源層的投影區域覆蓋所述柵絕緣層的投影區域的一部分；

設置所述氣體承載結構具體包括：

在所述柵極之上形成絕緣層；

刻蝕所述絕緣層，在所述絕緣層上形成多個空隙，所述空隙將所述絕緣層劃分為多個絕緣子層；

利用填充材料填充所述空隙，得到由所述填充材料與所述絕緣子層形成的絕緣子層-填充材料復合層；

在所述絕緣子層-填充材料復合層之上設置有源層；

利用清洗液溶解所述填充材料。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述填充材料包括聚（1,4-丁烯己二酸酯）。

11.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述清洗液包括下列材料之一或其組合：丙酮、乙酸乙酯。