[發(fā)明專利]光學(xué)元件超聲刻蝕裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710691293.6
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107481959B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉卉;姜晨;汪中厚
• 申請（專利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根;王晶

1.一種光學(xué)元件超聲刻蝕裝置，包括刻蝕液存貯箱(1)、刻蝕液循環(huán)槽(2)、刻蝕反應(yīng)槽(3)、輸液導(dǎo)管(6)、輸液開關(guān)(7)、支架(8)、底座(9)、控制鍵盤(10)、溫度顯示器(11)、微控制器(12)、隔板(13)、微型循環(huán)泵(18)、超聲波發(fā)生器(19)、溫度傳感器(20)、第一電機(21)、第二電機(22)、多功能夾具(25)以及存儲在刻蝕液存貯箱(1)、刻蝕液循環(huán)槽(2)和刻蝕反應(yīng)槽(3)內(nèi)的刻蝕溶液(4)，其特征在于：所述刻蝕液存貯箱(1)通過輸液導(dǎo)管(6)與刻蝕液循環(huán)槽(2)相連，輸液導(dǎo)管(6)上設(shè)有輸液開關(guān)(7)；控制鍵盤(10)、溫度顯示器(11)和微控制器(12)均安裝在支架(8)上，支架(8)設(shè)于底座(9)上，刻蝕液循環(huán)槽(2)和刻蝕反應(yīng)槽(3)置于支架(8)正下方且呈左右放置，刻蝕液循環(huán)槽(2)和刻蝕反應(yīng)槽(3)之間由隔板(13)隔開，隔板(13)底部設(shè)有一個連通口(14)，連通口(14)由槽外安置的連通開關(guān)(15)控制其開閉狀態(tài)；刻蝕液循環(huán)槽(2)與刻蝕反應(yīng)槽(3)之間由兩根循環(huán)導(dǎo)管(16)相連，且循環(huán)導(dǎo)管(16)上均設(shè)有微型循環(huán)泵(18)；刻蝕反應(yīng)槽(3)底部安有超聲波發(fā)生器(19)，超聲波發(fā)生器(19)與控制鍵盤(10)連接；溫度傳感器(20)置于刻蝕反應(yīng)槽(3)內(nèi)并與刻蝕溶液(4)接觸，溫度顯示器(11)與溫度傳感器(20)電連接，溫度傳感器(20)信號輸出端連接微控制器(12)信號輸入端，微控制器(12)輸出端分別連接第一電機(21)和第二電機(22)，第一電機(21)和第二電機(22)分別控制各自的微型循環(huán)泵(18)的運行；刻蝕反應(yīng)槽(3)底部設(shè)有排液導(dǎo)管(23)，排液導(dǎo)管(23)中部設(shè)有排液開關(guān)(24)；刻蝕反應(yīng)槽(3)中上部四面設(shè)有刻蝕反應(yīng)槽內(nèi)隔板(26)，刻蝕反應(yīng)槽內(nèi)隔板(26)上設(shè)有豎直方向的內(nèi)隔板導(dǎo)向槽(27)；所述多功能夾具(25)置于刻蝕反應(yīng)槽(3)中上部，多功能夾具(25)側(cè)面通過夾具導(dǎo)向條(25-4)與刻蝕反應(yīng)槽內(nèi)隔板(26)的內(nèi)隔板導(dǎo)向槽(27)配合連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件超聲刻蝕裝置，其特征在于：所述多功能夾具(25)從上到下依次分為三層，第一層為夾具上蓋板(25-1)，第二層設(shè)有光學(xué)元件置放槽(25-2)，第三層為夾具下蓋板(25-3)，所述光學(xué)元件置放槽(25-2)內(nèi)放置待刻蝕光學(xué)元件(28)，夾具上蓋板(25-1)和夾具下蓋板(25-3)與刻蝕反應(yīng)槽內(nèi)隔板(26)緊密配合，刻蝕反應(yīng)過程中沿刻蝕反應(yīng)槽內(nèi)隔板(26)的內(nèi)隔板導(dǎo)向槽(27)向下推動或向上拉動多功能夾具(25)，實現(xiàn)光學(xué)元件(28)與刻蝕溶液(4)的完全接觸或分離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)元件超聲刻蝕裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(20)測量刻蝕反應(yīng)槽(3)內(nèi)刻蝕溶液(4)的實時溫度，將測得數(shù)據(jù)與所需溫度進行對比后將信號輸入微控制器(12)，由微控制器(12)控制微型循環(huán)泵(18)運作，將刻蝕反應(yīng)槽(3)和刻蝕液循環(huán)槽(2)內(nèi)的刻蝕溶液(4)通過循環(huán)導(dǎo)管(16)進行循環(huán)交換，并且循環(huán)導(dǎo)管(16)中段外圍包裹有吸熱降溫物質(zhì)(17)，實現(xiàn)對刻蝕溶液溫度的有效控制。