[發明專利]一種雙面摻雜的高效太陽能電池及其制作方法

在審

• 申請號: 201710690414.5
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107507872A
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 藍家平;陸森榮
• 申請（專利權）人: 江蘇科來材料科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司32232
• 代理人: 何蔚

1.一種雙面摻雜的高效太陽能電池，包括：硅片(1)，其特征在于，所述硅片(1)正面設置正柵線電極(8)，背面設置背金屬電極(9)；

所述硅片(1)正面全面輕摻雜形成pn結發射極(2)后鍍設正面鈍化減反射層(4)，所述正柵線電極(8)在硅片(1)上的對應位置設置正面摻雜漿料區于正面鈍化減反射層(4)上，在正面摻雜漿料區燒蝕開槽形成發射極重摻雜區(6)，且所述正柵線電極(8)設置至重發射極摻雜區(6)上；

所述硅片(1)背面全面輕摻雜形成輕摻雜區(3)后鍍設背面鈍化減反射層(5)，所述背金屬電極(9)在硅片(1)上的對應位置設置背面摻雜漿料區于背面鈍化減反射層(5)上，在背面摻雜漿料區燒蝕開槽形成重摻雜區(5)，且所述背金屬電極(9)設置至重摻雜區(7)上。

2.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述正面摻雜漿料區寬度不小于正柵線電極(8)寬度，形狀和所述正柵線電極(8)形狀一致；所述背面摻雜漿料區寬度不小于背金屬電極(9)寬度，形狀和所述背金屬電極(9)形狀一致。

3.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述正面摻雜漿料區燒蝕開槽，槽深至少打穿正面鈍化減反射層(4)；所述背面摻雜漿料區燒蝕開槽，槽深至少打穿背面鈍化減反射層(5)。

4.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述正柵線電極(8)可以為6～200主柵電極的一種，且所述正柵線電極(8)和所述背金屬電極(9)圖形可以為主副柵金屬化版圖結構，指叉式金屬化版圖結構的一種。

5.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述pn結發射極(2)摻雜方阻為80～120Ω/□；所述輕摻雜區(3)摻雜方阻為70-120Ω/□；所述發射極重摻雜區(6)和重摻雜區(7)摻雜方阻為40～80Ω/□。

6.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述硅片(1)為N型硅片或P型硅片的一種。

7.根據權利要求1所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述正柵線電極(8)和背金屬電極(9)均使用銀漿為原料進行電鍍或絲網印刷的一種。

8.根據權利要求1或7任一項所述的一種雙面摻雜的高效太陽能電池，其特征在于，所述N型硅片的pn結發射極(2)摻雜源為三氯氧磷，輕摻雜區(3)摻雜源為BBr3，正面摻雜漿料區摻雜源為磷漿，背面摻雜漿料區摻雜源為硼漿；

所述P型硅片的pn結發射極(2)摻雜源為BBr3，輕摻雜區(3)摻雜源為三氯氧磷，正面摻雜漿料區摻雜源為硼漿，背面摻雜漿料區摻雜源為磷漿。