[發(fā)明專利]一種可調節(jié)厚度和間距的石墨舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710690122.1
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107299334B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設計）人: 劉文國;蘇世杰;李強強;張玉前;周守亮
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 張璽

本發(fā)明公開了一種可調節(jié)厚度和間距的石墨舟，包括若干平行設置的石墨舟頁以及若干垂直插設于石墨舟頁中的石墨棒，每兩片石墨舟頁之間均設置有調節(jié)裝置；所述調節(jié)裝置包括依次間隔設置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之間通過連接塊固定；所述陶瓷套遠離插孔一端開設有內孔，所述內孔中活動插設有陶瓷管。本發(fā)明在每兩片石墨舟頁之間增加了調節(jié)裝置，并且配合著可以活動插接于陶瓷套內的陶瓷管，可以非常簡便的對石墨舟頁的厚度以及石墨舟頁之間的間距進行調整，以方便對石墨舟頁片數進行增加或者減少的調節(jié)，操作簡單，可以節(jié)約大量調節(jié)時間，而且不需要更換不同厚度的石墨舟頁，大大節(jié)約了材料，非常有效。

技術領域

本發(fā)明涉及硅片制造模具技術領域，具體為一種可調節(jié)厚度和間距的石墨舟。

背景技術

現有的對應管徑380的石墨舟都是21片石墨舟頁的石墨舟，為了提升產能，可以在石墨舟兩邊各加一片石墨舟頁組成23片石墨舟頁的石墨舟，此種石墨舟能提升產能10％。

對于上述提出的改造方法，雖然增加了石墨舟頁的片數，增加了硅片放置量，但是為了使23片石墨舟能正常運行放進爐管，必須減薄舟頁厚度和減少舟頁間距。

但是現有技術中，如說明書附圖1所示，現有的兩片石墨舟之間僅僅通過一個圓柱形陶瓷管進行間隔，而且每片石墨舟頁的厚度均為定值，不好調整，所以現有的石墨舟在減薄舟頁厚度和減少舟頁間距時，操作起來十分復雜，非常不方便。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種可調節(jié)厚度和間距的石墨舟，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案：

一種可調節(jié)厚度和間距的石墨舟，包括若干平行設置的石墨舟頁以及若干垂直插設于石墨舟頁中的石墨棒，每兩片石墨舟頁之間均設置有調節(jié)裝置；

所述調節(jié)裝置包括依次間隔設置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之間通過連接塊固定，所述陶瓷套中開設有插孔，且調節(jié)裝置通過插孔依次對應活動插設于石墨棒上；

所述陶瓷套遠離插孔一端開設有內孔，所述內孔中活動插設有陶瓷管，所述內孔為螺紋孔，陶瓷管外壁設置有螺紋，且內孔與陶瓷管之間采用螺紋配合，所述陶瓷管轉動插設于石墨棒上。

優(yōu)選的，所述陶瓷套和石墨片在石墨棒方向上的長度相同。

優(yōu)選的，所述陶瓷管外表面刻設有刻度線。

與現有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過原有的石墨舟頁與石墨片的配合，用石墨片對硅片放置區(qū)域的厚度進行控制，從而實現對石墨舟頁厚度的調整；而且通過陶瓷套和陶瓷管的設置，一方面將石墨舟頁間隔開用來放置硅片，另一方面，通過內孔和陶瓷管的螺紋插接配合，使得每兩片石墨舟頁之間的間距可以很方便的進行調整。

本發(fā)明在每兩片石墨舟頁之間增加了調節(jié)裝置，并且配合著可以活動插接于陶瓷套內的陶瓷管，可以非常簡便的對石墨舟頁的厚度以及石墨舟頁之間的間距進行調整，以方便對石墨舟頁片數進行增加調節(jié)，從而提升石墨舟產能，并且操作簡單可以節(jié)約大量調節(jié)時間，而且不需要更換不同厚度的石墨舟頁，大大節(jié)約了材料，非常有效。

附圖說明

圖1為現有技術的石墨舟結構示意圖；

圖2為本發(fā)明的結構示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例中石墨舟頁的結構示意圖；

圖4為本發(fā)明的調節(jié)裝置與石墨棒安裝示意圖；

圖5為本發(fā)明的陶瓷套與陶瓷管連接結構剖視圖；

圖6為本發(fā)明的調節(jié)裝置結構示意圖。