[發明專利]一種電池片背部鈍化工藝

在審

• 申請號: 201710689679.3
• 申請日: 2017-08-14
• 公開（公告）號: CN107452837A
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 王勤振;吳文明;馬東方
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所53113
• 代理人: 張璽

1.一種電池片背部鈍化工藝，其特征在于，包括以下步驟：

1)擴散：將制絨后的P型單晶硅進行P擴散，擴散溫度為890-910℃，方阻為70-100Ω/cm；

2)拋光清洗：利用拋光酸腐蝕溶液或者堿腐蝕溶液將硅片背面腐蝕并進行拋光，用5-10％的HF溶液清洗硅片5-8min，去除正面的磷硅玻璃，用主要成分為H₂O₂和NH₃.H₂O的混合溶液清洗硅片背面，控制溫度為90-100℃；

3)背部鈍化沉積：在硅片背面利用PECVD沉積氧化鋁，沉積薄膜厚度為30nm-60nm，在溫度為350-400℃時退火，退火時間為5-6min；控制沉積氮化硅時的溫度為450-500℃、NH₃/SiH₄氣流比為6-12:1、氣體總流量為3500-4500sccm，在硅片背面沉積薄膜厚度為75-90nm，正面沉積氮化硅薄膜厚度為60-80nm；

4)激光處理：利用激光局部去除硅片背面沉積的薄膜層，形成若干薄膜開孔；用5-10％的HF溶液清洗硅片背面5-8min，去除背面的激光損傷層；

5)印刷燒結：通過絲網印刷將氧化鋁溶膠涂布于基材上，并形成一預定圖案的涂層，在160-180℃干燥10min，接著在560-600℃的溫度下燒結，基材上形成具有該預定圖案的鈍化層；

其中，氧化鋁溶膠成分包含以下重量份材料：金屬鋁粉43-50份，PbO-B₂O₃-SiO₂鉛系玻璃粉末30-46份，鄰苯二甲酸酯類10-12份，硅烷偶聯劑6-10份。

2.根據權利要求1中所述的一種電池片背部鈍化工藝，其特征在于，所述P型單晶硅電阻摻雜濃度為0.2-10Ω·cm。

3.根據權利要求1中所述的一種電池片背部鈍化工藝，其特征在于，所述拋光腐蝕溶液為KOH溶液。

4.根據權利要求1中所述的一種電池片背部鈍化工藝，其特征在于，所述鋁粉的中心粒徑為5μm，玻璃粉的中心粒徑為1.3μm。