[發明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請號: 201710686901.4
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN107797385B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 梁敦植;崔漢永
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋海花

1.一種硬掩模用組合物，其包含共聚物和溶劑，所述共聚物包含下述化學式1的重復單元和下述化學式2的重復單元：

化學式1

化學式2

式中，

所述A₁為選自由下述化學式A₁-1～化學式A₁-5組成的組中的任一個：

化學式A₁-1

化學式A₁-2

化學式A₁-3

化學式A₁-4

化學式A₁-5

A₂由下述化學式A₂-1表示：

化學式A₂-1

所述A₁和A₂各自獨立地可被碳原子數1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進一步取代，

所述Ra為氫、碳原子數1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子數6～30的芳基，所述B為碳原子數1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子數6～30的芳基，

所述B為碳原子數6的芳基的情況下，被碳原子數1～6的烷基、羥基、烷氧基或苯基取代，所述烷氧基包含碳原子數1～4的烷基、烯丙基或碳原子數6～12的芳基，

所述n和m各自獨立地為1～190的整數。

2.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述A₁來源于選自由下述化學式p-1-1～化學式p-1-5組成的組中的化合物：

化學式p-1-1

化學式p-1-2

化學式p-1-3

化學式p-1-4

化學式p-1-5

所述化學式p-1-5中，Ra為氫、碳原子數1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子數6～30的芳基。

3.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述A₂來源于選自由下述化學式p-2-1和化學式p-2-2組成的組中的化合物：

化學式p-2-1

化學式p-2-2

式中，所述化學式p-2-1和化學式p-2-2的各苯環各自獨立地可被碳原子數1～6的烷基、甲氧基或苯基進一步取代。

4.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述B來源于下述化學式P-3的化合物：

P-3

5.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述共聚物為通過選自由下述化學式p-1-1～化學式p-1-5組成的組中的化合物、選自由下述化學式p-2-1和化學式p-2-2組成的組中的化合物、和下述化學式P-3的化合物的縮合反應而制造的化合物：

化學式p-1-1

化學式p-1-2

化學式p-1-3

化學式p-1-4

化學式p-1-5

化學式p-2-1

化學式p-2-2

P-3

式中，所述化學式p-1-1～化學式p-1-5和化學式p-2-1～化學式p-2-2的各苯環各自獨立地可被碳原子數1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進一步取代，

所述Ra為氫、碳原子數1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子數6～30的芳基，所述B為碳原子數1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子數6～30的芳基，

所述B為碳原子數6的芳基的情況下，被碳原子數1～6的烷基、羥基、烷氧基或苯基取代，所述烷氧基包含碳原子數1～4的烷基、烯丙基或碳原子數6～12的芳基。

6.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述共聚物中以5:5～9:1摩爾比包含所述化學式1的重復單元和所述化學式2的重復單元。