[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的OFET器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710683714.0
• 申請日: 2017-08-11
• 公開（公告）號: CN109390468B
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳卉
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學中山學院
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
• 代理公司: 成都時譽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51250
• 代理人: 沈成金

1.一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，包括：作為柔性襯底的透明聚合物PET，在PET上蒸鍍鋁作為柵電極，旋涂聚合物甲基丙烯酸甲酯(PMMA）溶液作為介電層，蒸鍍有機小分子材料并五苯(pentacene)及有機材料環(huán)已基二[N，N(4-甲基苯基）苯胺](TAPC)作為有機層，所述有機小分子材料并五苯和有機材料環(huán)已基二[N，N(4-甲基苯基）苯胺］交替形成層狀結(jié)構(gòu)，且并五苯與環(huán)已基二[N，N(4-甲基苯基）苯胺］按照10nm:l nm-10 nm:2 nm的比例蒸鍍，有機層的總厚度為65-70 nm，最后蒸鍍金屬金(Au)作為源漏電極，為了進一步提高載流子的傳輸能力，定制不同溝道寬長比的源漏電極掩膜板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，所述的柔性襯底聚對苯二甲酸乙二醇酯PET，尺寸是30 mm*30 mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，作為柵電極的鋁薄膜的厚度為60-100 nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，所述的介電層厚度200-800 nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，所述有機層厚度50-100 nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，作為源漏電極的金屬金薄膜的厚度為60-100 nm，源漏電極間距20-200 μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)，其特征在于，實驗中定制了9個不同溝道寬長比的源漏電極掩膜板，寬度1000 μm-2000 μm，長度50 μm-200 μm。

8.如權(quán)利要求1-6中任一項所述的一種應(yīng)用于柔性顯示領(lǐng)域的有機場效應(yīng)晶體管(OFET)的制備方法，其特征在于，該方法采用以下步驟：

a)柔性襯底PET處理：使用無塵布加丙酮擦拭基片，用洗潔精超聲15分鐘，用丙酮超聲15分鐘，用去離子水超聲15分鐘，用乙丙醇超聲15分鐘，用純氮氣烘干；

b)將PET襯底放在樣品架上，放入有機光電子器件超高真空制備系統(tǒng)（QX-500），輝光處理5-10 min；

c)在真空度不低于10^-4 Pa的真空環(huán)境下將AL熱蒸鍍到PET上形成柵電極；

d)用甲醛溶液溶解聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA），配置好的溶液旋涂在AL柵電極上；

e) 在真空度不低于10^-4Pa的真空環(huán)境下以10 nm/(1-2) nm的比例交替蒸鍍有機小分子材料并五苯（pentacene）及有機材料環(huán)已基二[N，N(4-甲基苯基）苯胺]（TAPC），形成體異質(zhì)結(jié)；

f)在真空度不低于10^-4Pa的真空環(huán)境下將Au熱蒸鍍到有機層上形成源漏電極，得到有機場效應(yīng)晶體管（OFET）。