[發(fā)明專利]線柵組件、起偏照明裝置及光配向設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710681562.0 | 申請日： | 2017-08-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109387898A | 公開（公告）日： | 2019-02-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱樹存;趙燦武 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/30 | 分類號(hào)： | G02B5/30;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 線柵偏振元件 線柵 光配向設(shè)備 拼接縫隙 線狀光源 照明裝置 拼接處 基底 照度均勻性 非偏振光 排列方向 偏振元件 組件包括 消光比 偏振 拼接 入射 相抵 泄露 照射 | ||
本發(fā)明提供了一種線柵組件、起偏照明裝置和光配向設(shè)備，所述線柵組件包括多個(gè)線柵偏振元件，每個(gè)所述線柵偏振元件包括基底和線柵；所述線柵位于所述基底的表面；多個(gè)所述線柵偏振元件沿著所述線狀光源長度的方向以互補(bǔ)的形式并排拼接，由于線柵偏振元件邊緣會(huì)存在微小的缺口或凹凸，將這些線柵偏振元件相抵排列會(huì)在拼接處形成空隙，本發(fā)明提供的相鄰兩個(gè)所述線柵偏振元件的線柵在拼接處具有重疊的部分，所述重疊的部分能夠?qū)λ鼍€狀光源入射進(jìn)拼接縫隙的光進(jìn)行偏振，能有效的防止照射在線柵偏振元件排列方向的非偏振光從拼接縫隙中泄露，獲得更好的消光比和照度均勻性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種線柵組件、起偏照明裝置及光配向設(shè)備。
背景技術(shù)
光取向的技術(shù)是使用起偏照明裝置向光配向膜照射特定波長的偏振光而進(jìn)行取向，即將規(guī)定波長的偏振光照射在配向膜上，使得與偏振光的偏振軸方向一致或垂直的配向膜發(fā)生光致反應(yīng)。
起偏照明裝置一般包括照明組件和線柵組件組，由于配向膜需要的是波長在250nm～320nm的紫外線，線柵組件的線柵柵格間距優(yōu)選為100nm，而目前半導(dǎo)體加工裝置所能加工的基材直徑為300mm。因此用于起偏照明裝置的線柵組件的線柵只能采用多個(gè)線柵光源長度方向排列布置。
由于線柵組件是從玻璃基底上切割下來的，在邊緣會(huì)存在微小的缺口或凹凸，只將這些偏振元件相抵排列會(huì)存在間隙，來自照明組件的直射光(無偏振光)從該間隙漏出，消光比會(huì)變差；而且切割時(shí)邊緣的破損會(huì)引起柵格的缺損，在偏振元件的周邊部分消光比也會(huì)變差。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種線柵組件、起偏照明裝置及光配向設(shè)備,以解決現(xiàn)有技術(shù)中中線狀光源發(fā)出的光通過線柵組件后消光比差，照度不均勻等問題。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種線柵組件，用于對來自線狀光源的光進(jìn)行偏振，其特征在于，所述線柵組件包括多個(gè)線柵偏振元件，每個(gè)所述線柵偏振元件包括基底和線柵；
所述線柵位于所述基底的表面；
多個(gè)所述線柵偏振元件沿著所述線狀光源的長度方向以互補(bǔ)的形式并排拼接，并且拼接處形成有拼接縫隙；
相鄰兩個(gè)所述線柵偏振元件的線柵在拼接處具有重疊的部分，所述重疊的部分能夠?qū)λ鼍€狀光源入射進(jìn)所述拼接縫隙的光進(jìn)行偏振；
可選的，所述拼接縫隙的隙寬優(yōu)選為2mm～5mm；
可選的，每個(gè)所述線柵偏振元件均為雙面線柵元件，且雙面的線柵的柵距均相同；
可選的，相鄰兩個(gè)所述線柵偏振元件之間以完全互補(bǔ)的形式進(jìn)行拼接；
可選的，相鄰兩個(gè)所述線柵偏振元件中一個(gè)所述線柵偏振元件為凸形結(jié)構(gòu)，則另一個(gè)所述線柵偏振元件為倒凸形結(jié)構(gòu)；
可選的，所述凸形結(jié)構(gòu)和倒凸形結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度均為所述線柵偏振元件的厚度的一半；
可選的，所述凸形結(jié)構(gòu)的臺(tái)階面寬度需大于：所述拼接縫隙的隙寬+所述基底的厚度+2*所述線柵偏振元件的加工誤差和缺陷影響寬度；
可選的，所述線柵偏振元件包括第一線柵偏振元件和第二線柵偏振元件，多個(gè)所述第一線柵偏振元件沿著所述線狀光源的長度方向并排拼接，相鄰兩個(gè)所述第一線柵偏振元件進(jìn)行拼接的拼接面均呈臺(tái)階形狀，所述第二線柵偏振元件嵌入在相鄰兩個(gè)所述第一線柵偏振元件的拼接面之間；
可選的，所述拼接面包括兩級(jí)臺(tái)階，相鄰兩個(gè)所述第一線柵偏振元件的拼接面組合形成所述拼接縫隙及拼接縫隙下方的“凸”形空間，所述第二線柵偏振元件為凸形結(jié)構(gòu)，所述凸形結(jié)構(gòu)嵌入在所述“凸”形空間內(nèi)；
可選的，所述第一線柵偏振元件和第二線柵偏振元件均為單面線柵元件；
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