[發明專利]太陽能電池片防衰減表面處理裝置在審
| 申請號: | 201710680884.3 | 申請日: | 2017-08-10 |
| 公開(公告)號: | CN107369640A | 公開(公告)日: | 2017-11-21 |
| 發明(設計)人: | 沈曉 | 申請(專利權)人: | 江蘇格林保爾光伏有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258 | 代理人: | 王美華 |
| 地址: | 213161 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 衰減 表面 處理 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及太陽能電池片技術領域,尤其是一種太陽能電池片防衰減表面處理裝置。
背景技術
太陽能組件制作安裝運營時,經常會發現組件功率衰減較大,這種現象大多是由于電池片的光致衰減引起的。因此在電池片制作工藝中,通過電池片表面制絨處理,用堿或酸得到不同形狀的絨面,有效的絨面結構可使得入射光在電池片表面多次反射和折射,增加了光的吸收,降低了反射率,有助于提高電池的性能。這種采用酸或堿進行電池片表面處理的方式,工藝要求較復雜,反應時間長,處理過程中存在有較多的酸堿廢液,對環境影響較大。
發明內容
本發明要解決的技術問題是:為了克服現有技術中之不足,本發明提供一種可簡化工藝過程、提高處理工效的太陽能電池片防衰減表面處理裝置。
本發明解決其技術問題所采用的技術方案是:一種太陽能電池片防衰減表面處理裝置,具有箱體,所述的箱體從下至上包括密封連接的進氣室、反應室以及排氣室,待處理的電池片放置于反應室內,進氣室與反應室之間、反應室與排氣室之間均設有布滿氣孔的分布板,進氣室內安裝有風機,風機的出風管上通過氣管連接有臭氧發生器,排氣室內設有大端朝向反應室的錐形風罩,錐形風罩上端連接有排氣管,排氣室側板上安裝有電氣控制柜。
為提高臭氧氣體擴散均勻性,所述的風機出風管上端設有大端朝向反應室的倒錐形的擴散罩,擴散罩小端連接風機出風管,擴散罩小端口內設有連通風機出風管的聚氣管,聚氣管上端設有布有小孔的小分布板。
為方便控制氣體在管路系統上的流動,所述的氣管上安裝有控制臭氧通入進氣室的第一氣動蝶閥,氣管旁路連接有作業停止時控制臭氧旁路排出的第二氣動蝶閥,排氣管出口端設有第三驅動蝶閥。
為減少臭氧消耗,降低成本,所述的排氣管與風機進氣口之間連接有回氣管,回氣管中間設有控制臭氧循環的第四氣動蝶閥,回氣管旁路連接有補充外界空氣的補氣管,補氣管上安裝有第五氣動蝶閥,作業停止后,通過補氣管通入外界干凈空氣,防止臭氧對環境造成影響。
本發明的有益效果是:本發明通過向反應室內通入臭氧氣體,利用臭氧與硅之間的反應,在電池片表面生成一層氧化硅保護層,從而在電池片使用過程中,有效地防止了電池片的光致衰減所引起的組件功率衰減現象,提高了太陽電池的性能。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。
圖1是本發明的結構示意圖。
圖中:1.進氣室 2.反應室 3.排氣室 4.分布板 5.風機 6.氣管 7.臭氧發生器 8.錐形風罩 9.排氣管 10.電氣控制柜 11.擴散罩 12.聚氣管 13.小分布板 14.第一氣動蝶閥 15.第二氣動蝶閥 16.第三氣動蝶閥17.回氣管 18.第四氣動蝶閥 19.補氣管 20.第五氣動蝶閥
具體實施方式
現在結合附圖對本發明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本發明的基本結構,因此其僅顯示與本發明有關的構成。
如圖1所示的一種太陽能電池片防衰減表面處理裝置,具有箱體,所述的箱體從下至上包括密封連接的進氣室1、反應室2以及排氣室3,待處理的電池片放置于反應室2內,反應室2前后兩面均安裝有可開閉的門,電池片通過前門可放置于反應室2內與臭氧反應,處理好的電池片從后門搬運走。在排氣室3的側板上安裝有控制裝置操作過程的電氣控制柜10。
位于進氣室1與反應室2之間、反應室2與排氣室3之間均設有布滿氣孔的分布板4,進氣室1內安裝有風機5,風機5的出風管上通過氣管6連接有臭氧發生器7,風機5出風管上端設有大端朝向反應室2的倒錐形的擴散罩11,以提高臭氧氣體擴散的均勻性,擴散罩11小端連接風機5出風管,擴散罩11小端口內設有連通風機5出風管的聚氣管12,聚氣管12上端設有布有小孔的小分布板13。
所述的排氣室3內設有大端朝向反應室2的錐形風罩8,錐形風罩8上端連接有排氣管9,排氣管9與風機5進氣口之間并連有回氣管17,回氣管17旁路連接有補充外界空氣的補氣管19。
所述的氣管6上安裝有控制臭氧通入進氣室1的第一氣動蝶閥14,氣管6旁路連接有作業停止時控制臭氧旁路排出的第二氣動蝶閥15,排氣管9出口端設有第三驅動蝶閥16,所述的回氣管17中間設有控制臭氧循環的第四氣動蝶閥18,補氣管19上安裝有第五氣動蝶閥20。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





