[發(fā)明專利]微傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710680079.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-10
• 公開（公告）號(hào): CN107727698B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安范模;樸勝浩;邊圣鉉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普因特工程有限公司
• 主分類號(hào): G01N27/12
• 分類號(hào): G01N27/12
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 汪麗紅

1.一種微傳感器，用于感測(cè)氣體，其特征在于，包括：

基板；

感測(cè)物質(zhì)，形成在所述基板上；

加熱器電極，設(shè)置在所述基板上，以加熱所述感測(cè)物質(zhì)；

傳感器電極，形成到所述基板上，當(dāng)氣體吸附在由所述加熱器電極加熱的所述感測(cè)物質(zhì)的頂部時(shí)，感測(cè)電性能的變化；以及

電阻器，包括至少兩個(gè)電阻，形成到所述基板上，電連接到所述傳感器電極，且

取決于所述感測(cè)物質(zhì)，通過打線接合至少兩個(gè)所述電阻或通過斷開先前連接的至少兩個(gè)所述電阻中不必要的電阻來調(diào)節(jié)所述電阻器的電阻值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，至少兩個(gè)所述電阻中的至少兩個(gè)的電阻值不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，所述電阻器包括第一電阻墊、第二電阻墊、第三電阻墊及第一電阻，

所述第一電阻墊連接到所述傳感器電極，

所述第二電阻墊與所述第三電阻墊中的至少一個(gè)包括焊墊電極部與接合部，所述焊墊電極部的至少一部分連接到所述第一電阻，所述接合部連接到所述焊墊電極部，形成到除所述第一電阻以外的部分，

所述焊墊電極部跨及所述第一電阻而與所述第一電阻接觸，以便與所述第一電阻的兩端接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微傳感器，其特征在于，所述第一電阻配置到所述焊墊電極部的上部。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微傳感器，其特征在于，所述第一電阻由NiCr、AgMn、CuNi、Ta、硅化鉭、碳中的一種形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，所述電阻器包括第一電阻墊、第二電阻墊、第三電阻墊、第四電阻墊、第一電阻及第二電阻，

所述第一電阻墊連接到所述傳感器電極，

在所述第一電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第一電阻的另一側(cè)連接所述第二電阻墊，

在所述第二電阻的一側(cè)連接所述第三電阻墊，

在所述第二電阻的另一側(cè)連接所述第四電阻墊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，所述電阻器包括第一電阻墊、第二電阻墊、第三電阻墊、第一電阻及第二電阻，

所述第一電阻墊連接到所述傳感器電極的第一傳感器電極墊，

所述第二電阻墊或所述第三電阻墊連接到所述傳感器電極的第二傳感器電極墊，

在所述第一電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第一電阻的另一側(cè)連接所述第二電阻墊，

在所述第二電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第二電阻的另一側(cè)連接所述第三電阻墊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，所述電阻器包括第一電阻墊、第二電阻墊、第一電阻及第二電阻，

所述第一電阻墊連接到所述傳感器電極，

在所述第一電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第一電阻的另一側(cè)連接所述第二電阻墊，

在所述第二電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第二電阻的另一側(cè)連接所述第二電阻墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微傳感器，其特征在于，所述電阻器包括第一電阻墊、第二電阻墊、第三電阻墊、第一電阻及第二電阻，

所述第一電阻墊連接到所述傳感器電極，

在所述第一電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第一電阻的另一側(cè)連接所述第二電阻墊，

在所述第二電阻的一側(cè)連接所述第一電阻墊，

在所述第二電阻的另一側(cè)連接所述第三電阻墊。