[發明專利]全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統有效
| 申請號： | 201710678259.5 | 申請日： | 2017-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN107505307B | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發明（設計）人： | 段憶翔;施琳莉 | 申請（專利權）人： | 成都艾立本科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/71 | 分類號： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 成都高遠知識產權代理事務所(普通合伙) 51222 | 代理人： | 曾克;李曉英 |
| 地址： | 610000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 包圍 橢圓 球面鏡 激光 誘導 擊穿 光譜儀 系統 | ||
1.全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于:包括脈沖激光器（1）、全反射鏡（2）、聚焦透鏡（3）、樣品臺（4）、全包圍式橢圓球面鏡（5）、信號光收集系統（6）和光譜儀（7），所述樣品臺（4）和信號光收集系統（6）位于全包圍式橢圓球面鏡（5）內側，所述樣品臺（4）和信號光收集系統（6）分別設于全包圍式橢圓球面鏡（5）的兩個焦點處，所述全包圍式橢圓球面鏡（5）上設有通孔（9），所述樣品臺（4）位于通孔（9）正下方，所述聚焦透鏡（3）位于通孔（9）正上方，所述全反射鏡（2）用以將脈沖激光器（1）產生的激光全反射給聚焦透鏡（3），所述聚焦透鏡（3）用以將其聚焦后的光以垂直于全包圍式橢圓球面鏡（5）長軸的方向入射到樣品臺（4）上，所述光譜儀（7）與信號光收集系統（6）連接；所述全包圍式橢圓球面鏡（5）立體角大小為2πsr，所述全包圍式橢圓球面鏡（5）呈半球式。
2.根據權利要求1所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：還包括計算機（8），所述光譜儀（7）與計算機（8）連接。
3.根據權利要求1所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：所述全包圍式橢圓球面鏡（5）內表面有真空紫外鍍鋁膜。
4.根據權利要求1所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：所述信號光收集系統（6）通過光纖與光譜儀（7）相連。
5.根據權利要求1所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：所述光譜儀（7）為Avantes單通道光譜儀。
6.根據權利要求1或5所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：所述光譜儀（7）的光譜范圍為170nm-1100nm。
7.根據權利要求6所述的全包圍式橢圓球面鏡全包圍式橢圓球面鏡光路激光誘導擊穿光譜儀系統，其特征在于：所述光譜儀（7）的光譜范圍為180nm-400nm。
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