[發明專利]用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法

有效

• 申請號: 201710676708.2
• 申請日: 2017-08-09
• 公開（公告）號: CN107475681B
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 田晶;胡超;孫紅霞;李雪松;江湖;王溢歡;易珊;胡鵬臣
• 申請（專利權）人: 領凡新能源科技(北京)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 11584 北京智晨知識產權代理有限公司
• 代理人: 張婧

1.一種膜層制程工藝中用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，包括如下步驟：

在柔性襯底的受熱面上形成熱接收層，并將所述熱接收層的輻射系數控制在設定的范圍內，所述柔性襯底的受熱面為所述柔性襯底的第一表面，所述柔性襯底的與所述第一表面相對第二表面用于進行膜層制程工藝；

采樣測量所述熱接收層在加熱單元處的輻射系數；

根據采樣測量獲得的輻射系數，對采樣位置處對應的加熱單元的溫度進行控制。

2.根據權利要求1所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，將所述熱接收層的輻射系數控制在設定的范圍內具體包括：

通過控制沉積設備的制程工藝參數，以對所述熱接收層的輻射系數進行控制。

3.根據權利要求1或2所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，加熱單元的加熱方式為紅外非接觸式加熱，且所述設定的范圍根據實際紅外加熱裝置的紅外發射波譜確定。

4.根據權利要求1所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述熱接收層的材料為鋁、銅、鐵、鎳、鉬、鎢、鉛、鋅、鈦中其中一種的氧化物或其中多種的氧化物的混合物。

5.根據權利要求4所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述熱接收層通過磁控濺射、真空蒸發和原子層沉積中的一種處理方式對金屬源在含氧環境下進行反應后形成。

6.根據權利要求5所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述熱接收層的厚度范圍值為50-1000nm。

7.根據權利要求3所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，采樣測量所述熱接收層在加熱單元處的輻射系數具體包括：

通過工藝腔室中的輻射系數檢測單元檢測與所述實際紅外加熱裝置的紅外發射波譜特征峰波長對應的輻射系數；

將檢測結果反饋給加熱控制單元計算修正，以通過所述加熱控制單元控制所述加熱單元的溫度。

8.根據權利要求7所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述加熱單元與所述輻射系數檢測單元均設置有多個，且多個所述加熱單元與多個所述輻射系數檢測單元的位置一一對應。

9.根據權利要求8所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述加熱單元到所述熱接收層的距離大于5cm。

10.根據權利要求3所述的用于均勻控制大面積柔性襯底溫度的方法，其特征在于，所述實際紅外加熱裝置的紅外發射波譜特征峰波長范圍值為0.75-300μm。