[發明專利]化學增幅型感光性樹脂組合物及由其制造的絕緣膜

有效

• 申請號: 201710675703.8
• 申請日: 2017-08-09
• 公開（公告）號: CN107728428B
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 任玟柱;金鐘伯;樸漢雨
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/004
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 石寶忠

本發明提供能夠得到圖案的密合性和均一性優異的絕緣膜的化學增幅型感光性樹脂組合物和由其制造的絕緣膜。本發明涉及化學增幅型感光性樹脂組合物和由其制造的絕緣膜。更詳細地說，涉及化學增幅型感光性樹脂組合物和由其制造的絕緣膜，該化學增幅型感光性樹脂組合物通過包含(A)粘接劑樹脂、(B)光致產酸劑和(C)溶劑，能夠得到圖案的密合性和均一性優異的絕緣膜，其中(A)粘接劑樹脂包含(a?1)酚性羥基或羧基的至少一部分用酸分解性基團保護的樹脂、(a?2)含有環氧基的丙烯酸系樹脂和(a?3)硅氧烷樹脂。

技術領域

本發明涉及化學增幅型感光性樹脂組合物及由其制造的絕緣膜。

背景技術

在薄膜晶體管(TFT)型的液晶顯示裝置等顯示裝置中，作為用于保護TFT(薄膜晶體管)電路、使其絕緣的保護膜，以往使用了氮化硅等無機系保護膜。但是，由于介電常數高，因此存在開口率未提高的問題，為了消除該問題，傾向于更加需要介電常數低的有機絕緣膜。

作為這樣的有機絕緣膜，一般使用作為通過光和電子束而進行化學反應、對于特定溶劑的溶解度變化的高分子化合物的感光性樹脂。然后，通過由上述有機絕緣膜的光反應引起的高分子的極性變化和交聯反應來進行電路圖案的微細加工。特別地，上述有機絕緣膜材料利用了曝光后的對于堿水溶液等溶劑的溶解性的變化特性。

上述有機絕緣膜根據經感光的部分對于顯影的溶解度而分類為正型和負型。正型光致抗蝕劑是使曝光了的部分溶解于顯影液而形成圖案的方式，負型光致抗蝕劑是曝光了的部分在顯影液中不溶解、使沒有曝光的部分溶解而形成圖案的方式。

其中，就正型有機絕緣膜而言，通過使用堿水溶液，能夠避免使用負型有機絕緣膜中使用的有機顯影液。由此，不僅在作業環境方面是有利的，而且在理論上能夠防止沒有暴露于紫外線的部分的溶脹現象，因此具有提高分辨率的優點。另外，還具有如下優點：在形成了有機膜后，容易除去所采用的剝離液，工序中的不良面板產生時，通過除去有機膜，基板回收和再使用性顯著提高。

特別地，作為這樣的有機絕緣膜，在構成液晶顯示裝置的絕緣膜等時，對于上述絕緣膜要求有優異的絕緣性、在基板上涂布時用于減小界面處的應力的低的熱膨脹性、物理上強韌的特性等。

進而，上述絕緣膜、保護膜等必然與金屬、硅化合物等形成界面，此時優異的密合力在器件的可靠性方面是非常重要的要素。為了提供電路間的相互連接通路，絕緣膜會經歷微細圖案的形成過程。此時，如果對絕緣膜自身賦予感光性，則能夠減少以往在絕緣膜上涂布另外的光致抗蝕劑而形成圖案的工序，因此能夠更簡單地形成微細圖案。

出于這樣的理由，對于上述正型有機絕緣膜組合物而言，正在積極地進行采用下述組合物的研究：以作為代表性的粘接劑樹脂使用的丙烯酸系感光性樹脂為首，在酚醛清漆樹脂系、聚酰亞胺或硅氧烷系等的粘接劑樹脂中添加了賦予了感光性的化合物(PAC；photo active compound)等。最近上述絕緣膜已商業化，銷售使用了上述絕緣膜的各種器件的時刻已到來。

特別地，在必須將絕緣膜形成于硅氮化膜的情況下，為了提高密合力，用六甲基二硅氮烷(hexamethyldisilazane、HDMS)預先對硅氮化膜進行表面處理，但HDMS是對人體非常有害的物質。

為了解決這樣的問題，韓國公開專利第10-2010-0049687號中公開了正型感光性樹脂組合物，其包含：被具有不飽和烴基的化合物改性了的酚醛樹脂、在光的作用下生成酸的化合物、熱交聯劑和溶劑。但是，感度并不良好，另外，如果不使用HDMS，則依然沒有獲得充分的密合性。

現有技術文獻

專利文獻

【特許文獻1】：韓國公開專利第10-2010-0049687號公報

發明內容

發明要解決的課題

本發明的目的在于提供與基板的密合性優異的化學增幅型感光性樹脂組合物。