[發明專利]一種快速制備有機電子元器件的方法

有效

• 申請號: 201710674674.3
• 申請日: 2017-08-09
• 公開（公告）號: CN107425120B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 李勝夏;魏勤;藍河
• 申請（專利權）人: 上海冪方電子科技有限公司
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/40;H01L21/02;H01L23/64;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種快速制備有機電子元器件的方法，包括以下步驟：

a)在柔性基底上形成第一導電層；

b)對所述第一導電層進行后處理，具體為采用鹵鎢燈在距離所述柔性基底0.5cm的高度對所述第一導電層照射3秒；

c)在經過后處理的導電層上形成絕緣層；

d)對所述絕緣層進行后處理，具體為采用鹵鎢燈在距離所述柔性基底0.5cm的高度對所述絕緣層照射7秒；

e)在經過后處理的絕緣層上形成第二導電層；

f)對所述第二導電層進行后處理，具體為采用鹵鎢燈在距離所述柔性基底0.5cm的高度對所述第二導電層照射3秒；

g)在經過后處理的第二導電層上形成半導體層；

h)對所述半導體層進行后處理，具體為采用鹵鎢燈在距離所述柔性基底0.5cm的高度對所述半導體層照射2秒。

2.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，沉積所述各層的方法為選自旋涂、噴涂、刮涂或噴墨打印中一種。

3.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述第一導電層為金屬導電層。

4.如權利要求3所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述金屬導電層為銀層。

5.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述絕緣層為有機聚合物絕緣層。

6.如權利要求5所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述有機聚合物為聚(4-乙烯基苯酚)。

7.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述第二導電層為金屬導電層。

8.如權利要求7所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述金屬導電層為銀層。

9.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述鹵鎢燈的功率為100W～500W。

10.如權利要求9所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述鹵鎢燈距離所述待后處理層的距離為0.5～2.0cm。

11.如權利要求10所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述照射時間為3s～30min。

12.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述有機電子元器件為有機薄膜晶體管。

13.如權利要求1所述的一種快速制備有機電子元器件的方法，其中，所述有機電子元器件為電容器。