[發(fā)明專利]硅片線切割機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710672626.0
• 申請日: 2017-08-08
• 公開（公告）號: CN107379297A
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李磊
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰市展照科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 北京中恒高博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11249
• 代理人: 劉洪京

1.一種硅片線切割機，其特征在于，包括框架、設(shè)于框架前部的切割室、位于切割室后面的線筒室，所述切割室內(nèi)設(shè)有切割頭和收放線輪工裝，所述線筒室，包括主板、收放線輪單元、分別設(shè)于收放線輪下方的兩個導(dǎo)線輪工裝、與導(dǎo)線輪工裝相連的導(dǎo)線輪工裝移動座、兩個橫移架、兩個張力臂電機、與張力臂電機相連的張力臂、設(shè)于所述張力臂下端的張力臂導(dǎo)向輪，所述橫移架水平設(shè)置，所述橫移架下部設(shè)有水平導(dǎo)線輪工裝移動座滑軌，所述導(dǎo)線輪工裝移動座可沿所述滑軌橫向移動；所述導(dǎo)線輪工裝包括配重塊、連接座、固定支架、導(dǎo)向輪支撐座、收放線導(dǎo)向輪Ⅲ、傳感器、連接軸，所述固定支架用于導(dǎo)線輪工裝固定于導(dǎo)線輪工裝移動座，與固定支架相連設(shè)有連接座，所述連接座的另一側(cè)設(shè)有配重塊，與連接座相連接固定支架下面設(shè)有導(dǎo)向輪支撐座，與導(dǎo)向輪支撐座相連接安裝有收放線導(dǎo)向輪Ⅲ，所述傳感器位于導(dǎo)向輪支撐座與收放線導(dǎo)向輪Ⅲ相對，所述收放線導(dǎo)向輪Ⅲ與傳感器之間通過連接軸相連；所述張力臂電機位于線筒室主板后方，兩個所述張力臂導(dǎo)向輪分別位于兩個收放線導(dǎo)向輪Ⅲ右側(cè)，所述張力臂上設(shè)有張力臂傳感器，所述張力臂上部外面設(shè)有張力臂盒11；所述收放線輪工裝設(shè)有收放線導(dǎo)向輪Ⅰ、收放線導(dǎo)向輪Ⅱ，所述收放線導(dǎo)向輪Ⅰ高于收放線導(dǎo)向輪Ⅱ，所述收放線導(dǎo)向輪Ⅰ、收放線導(dǎo)向輪Ⅱ的位置分別與右側(cè)的收放線導(dǎo)向輪Ⅲ、張力臂導(dǎo)向輪的位置相應(yīng)；切割線依次通過上方收放線輪、上方收放線導(dǎo)向輪、上方張力臂導(dǎo)向輪收放線導(dǎo)向輪Ⅰ進入切割室，切割線通過收放線導(dǎo)向輪Ⅱ、下方張力臂導(dǎo)向輪、下方收放線導(dǎo)向輪、下方收放線輪由切割室引出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機，其特征在于，所述收放線輪工裝，包括收放線導(dǎo)向輪Ⅰ、導(dǎo)向輪支撐塊Ⅰ、導(dǎo)向輪支撐塊調(diào)節(jié)座Ⅰ、調(diào)節(jié)座、收放線導(dǎo)向輪Ⅱ、導(dǎo)向輪支撐塊Ⅱ、導(dǎo)向輪支撐塊調(diào)節(jié)座Ⅱ、導(dǎo)向輪固定支架Ⅰ、導(dǎo)向輪固定支架Ⅱ、導(dǎo)軌，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅰ高于導(dǎo)向輪固定支架Ⅱ，所述導(dǎo)軌設(shè)有縱向開口槽，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅰ底部設(shè)有與縱向開口槽相配的凸起，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅰ通過凸起連接于所述導(dǎo)軌上位置可調(diào)整，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅰ上端設(shè)有連接柱，所述調(diào)節(jié)座下部設(shè)有橫向開口槽，所述連接柱位于橫向開口槽內(nèi)可橫向移動，所述調(diào)節(jié)座上部設(shè)有連接柱，所述導(dǎo)向輪支撐塊調(diào)節(jié)座Ⅰ下部設(shè)有豎向開口槽，所述連接柱位于豎向開口槽內(nèi)可上下移動，所述導(dǎo)向輪支撐塊調(diào)節(jié)座Ⅰ上部設(shè)有弧形槽，所述導(dǎo)向輪支撐塊Ⅰ一端連接設(shè)有收放線導(dǎo)向輪Ⅰ，另一端設(shè)有連接柱，所述連接柱位于所述弧形槽內(nèi)可移動；所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅱ底部設(shè)有與縱向開口槽相配的凸起，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅱ通過凸起連接于所述導(dǎo)軌上位置可調(diào)整，所述導(dǎo)向輪固定支架Ⅱ上端設(shè)有豎向移動槽，所述收線輪支撐塊調(diào)節(jié)座設(shè)有與豎向移動槽相配的連接柱，所述連接柱位于豎向移動槽內(nèi)，位置可上下調(diào)節(jié)，所述收線輪支撐塊調(diào)節(jié)座上設(shè)有弧形槽，所述收線輪支撐塊一端連接設(shè)有收放線導(dǎo)向輪Ⅱ，另一端設(shè)有連接柱，所述連接柱位于所述弧形槽內(nèi)可移動；所述連接柱端部設(shè)有螺紋，與所述螺紋相配設(shè)有螺母；依次纏繞收放線輪、收放線導(dǎo)向輪、張力臂導(dǎo)向輪設(shè)有切割線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機，其特征在于，所述切割頭包括位于兩側(cè)的切割頭立柱、所述切割頭立柱上設(shè)有兩個主輥孔，穿過兩側(cè)的主輥孔設(shè)有主輥，所述主輥前后分別設(shè)有前軸承箱和后軸承箱，所述主輥可拆卸，所述兩根主輥軸間距為380mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機，其特征在于，所述收放線輪單元包括收放電機、電機支架、電機同步輪、軸承箱同步輪、同步帶、收放線輪軸承箱、軸承箱固定支架、收放線輪，所述收放電機位于電機支架上，收放電機與電機同步輪相連，電機同步輪通過同步帶與軸承箱同步輪相連，所述軸承箱同步輪連接收放線輪軸，所述收放線輪軸的后端設(shè)有收放線輪軸承箱，所述收放線輪軸承箱外設(shè)有軸承箱固定支架。