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[發明專利]硅片線切割機在審

專利信息
申請號: 201710672626.0 申請日: 2017-08-08
公開(公告)號: CN107379297A 公開(公告)日: 2017-11-24
發明(設計)人: 李磊 申請(專利權)人: 江陰市展照科技有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04;B28D5/00
代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司11249 代理人: 劉洪京
地址: 214407 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅片 切割機
【權利要求書】:

1.一種硅片線切割機,其特征在于,包括框架、設于框架前部的切割室、位于切割室后面的線筒室,所述切割室內設有切割頭和收放線輪工裝,所述線筒室,包括主板、收放線輪單元、分別設于收放線輪下方的兩個導線輪工裝、與導線輪工裝相連的導線輪工裝移動座、兩個橫移架、兩個張力臂電機、與張力臂電機相連的張力臂、設于所述張力臂下端的張力臂導向輪,所述橫移架水平設置,所述橫移架下部設有水平導線輪工裝移動座滑軌,所述導線輪工裝移動座可沿所述滑軌橫向移動;所述導線輪工裝包括配重塊、連接座、固定支架、導向輪支撐座、收放線導向輪Ⅲ、傳感器、連接軸,所述固定支架用于導線輪工裝固定于導線輪工裝移動座,與固定支架相連設有連接座,所述連接座的另一側設有配重塊,與連接座相連接固定支架下面設有導向輪支撐座,與導向輪支撐座相連接安裝有收放線導向輪Ⅲ,所述傳感器位于導向輪支撐座與收放線導向輪Ⅲ相對,所述收放線導向輪Ⅲ與傳感器之間通過連接軸相連;所述張力臂電機位于線筒室主板后方,兩個所述張力臂導向輪分別位于兩個收放線導向輪Ⅲ右側,所述張力臂上設有張力臂傳感器,所述張力臂上部外面設有張力臂盒11;所述收放線輪工裝設有收放線導向輪Ⅰ、收放線導向輪Ⅱ,所述收放線導向輪Ⅰ高于收放線導向輪Ⅱ,所述收放線導向輪Ⅰ、收放線導向輪Ⅱ的位置分別與右側的收放線導向輪Ⅲ、張力臂導向輪的位置相應;切割線依次通過上方收放線輪、上方收放線導向輪、上方張力臂導向輪收放線導向輪Ⅰ進入切割室,切割線通過收放線導向輪Ⅱ、下方張力臂導向輪、下方收放線導向輪、下方收放線輪由切割室引出。

2.根據權利要求1所述的硅片線切割機,其特征在于,所述收放線輪工裝,包括收放線導向輪Ⅰ、導向輪支撐塊Ⅰ、導向輪支撐塊調節座Ⅰ、調節座、收放線導向輪Ⅱ、導向輪支撐塊Ⅱ、導向輪支撐塊調節座Ⅱ、導向輪固定支架Ⅰ、導向輪固定支架Ⅱ、導軌,所述導向輪固定支架Ⅰ高于導向輪固定支架Ⅱ,所述導軌設有縱向開口槽,所述導向輪固定支架Ⅰ底部設有與縱向開口槽相配的凸起,所述導向輪固定支架Ⅰ通過凸起連接于所述導軌上位置可調整,所述導向輪固定支架Ⅰ上端設有連接柱,所述調節座下部設有橫向開口槽,所述連接柱位于橫向開口槽內可橫向移動,所述調節座上部設有連接柱,所述導向輪支撐塊調節座Ⅰ下部設有豎向開口槽,所述連接柱位于豎向開口槽內可上下移動,所述導向輪支撐塊調節座Ⅰ上部設有弧形槽,所述導向輪支撐塊Ⅰ一端連接設有收放線導向輪Ⅰ,另一端設有連接柱,所述連接柱位于所述弧形槽內可移動;所述導向輪固定支架Ⅱ底部設有與縱向開口槽相配的凸起,所述導向輪固定支架Ⅱ通過凸起連接于所述導軌上位置可調整,所述導向輪固定支架Ⅱ上端設有豎向移動槽,所述收線輪支撐塊調節座設有與豎向移動槽相配的連接柱,所述連接柱位于豎向移動槽內,位置可上下調節,所述收線輪支撐塊調節座上設有弧形槽,所述收線輪支撐塊一端連接設有收放線導向輪Ⅱ,另一端設有連接柱,所述連接柱位于所述弧形槽內可移動;所述連接柱端部設有螺紋,與所述螺紋相配設有螺母;依次纏繞收放線輪、收放線導向輪、張力臂導向輪設有切割線。

3.根據權利要求1所述的硅片線切割機,其特征在于,所述切割頭包括位于兩側的切割頭立柱、所述切割頭立柱上設有兩個主輥孔,穿過兩側的主輥孔設有主輥,所述主輥前后分別設有前軸承箱和后軸承箱,所述主輥可拆卸,所述兩根主輥軸間距為380mm。

4.根據權利要求1所述的硅片線切割機,其特征在于,所述收放線輪單元包括收放電機、電機支架、電機同步輪、軸承箱同步輪、同步帶、收放線輪軸承箱、軸承箱固定支架、收放線輪,所述收放電機位于電機支架上,收放電機與電機同步輪相連,電機同步輪通過同步帶與軸承箱同步輪相連,所述軸承箱同步輪連接收放線輪軸,所述收放線輪軸的后端設有收放線輪軸承箱,所述收放線輪軸承箱外設有軸承箱固定支架。

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