[發明專利]基板移送裝置有效
| 申請號： | 201710669589.8 | 申請日： | 2017-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN107777358B | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發明（設計）人： | 金基哲;李昌鏞;樸奇洪 | 申請（專利權）人： | 細美事有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韓國忠清*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 移送 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板移送裝置，其特征在于，包括：
至少一個主板，其由以基板的移送方向為基準從后方向前方的順序配置的第一輔助板、第二輔助板、第三輔助板及第四輔助板構成；及
超聲波提供部，其包括通過所述主板向所述基板提供超聲波使得能夠在將所述基板浮起的狀態下進行移送的第一超聲波提供部、第二超聲波提供部、第三超聲波提供部及第四超聲波提供部，
所述第一輔助板與所述第一超聲波提供部之間具有調節使得提供具有第一強度的超聲波的第一超聲波調節部，
所述第二輔助板與所述第二超聲波提供部之間具有調節使得提供具有第二強度的超聲波的第二超聲波調節部，
所述第三輔助板與所述第三超聲波提供部之間具有調節使得提供具有第三強度的超聲波的第三超聲波調節部，
所述第四輔助板與所述第四超聲波提供部之間具有調節使得提供具有第四強度的超聲波的第四超聲波調節部，
通過第二輔助板提供的超聲波的第二強度小于通過第一輔助板提供的超聲波的第一強度，
通過第三輔助板提供的超聲波的第三強度小于通過第二輔助板提供的超聲波的第二強度，
通過第四輔助板提供的超聲波的第四強度小于通過第三輔助板提供的超聲波的第三強度。
2.根據權利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于：
沿著所述基板的移送方向對齊配置有至少兩個所述主板。
3.根據權利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于：
所述主板包括用于干燥所述基板的加熱板。
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