[發明專利]一種微型固態薄膜鋰電池的制備方法在審
| 申請號： | 201710669482.3 | 申請日： | 2017-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN109390633A | 公開（公告）日： | 2019-02-26 |
| 發明（設計）人： | 王勝利;任麗彬;付方樵;丁飛 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十八研究所 |
| 主分類號： | H01M10/058 | 分類號： | H01M10/058;H01M10/052 |
| 代理公司： | 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101 | 代理人： | 李鳳 |
| 地址： | 300384 天津市濱海*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜鋰電池 微型固態 制備 薄膜 沉積鋰磷氧氮 沉積金屬 正極薄膜 修飾 固態電解質薄膜 原子層沉積技術 正極 磁控濺射技術 磁控濺射法 電解質薄膜 正極集流體 電池性能 電池阻抗 化學電源 界面接觸 制備過程 負極 沉積 玻璃 | ||
【權利要求書】：
1.一種微型固態薄膜鋰電池的制備方法，其特征是：微型固態薄膜鋰電池的結構為玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu；制備過程包括：采用磁控濺射法，沉積金屬Al薄膜作為正極集流體，沉積V2O5薄膜作為正極薄膜；采用原子層沉積技術，沉積鋰磷氧氮薄膜對正極薄膜進行修飾；采用磁控濺射技術，沉積鋰磷氧氮固態電解質薄膜，沉積金屬Li薄膜作為負極，最終完成微型固態薄膜鋰電池的制備。
2.根據權利要求1所述的微型固態薄膜鋰電池的制備方法，其特征是：沉積鋰磷氧氮薄膜對正極薄膜進行修飾時，在完成正極薄膜的沉積后，采用原子層沉積技術分別以LiHMDS為鋰源、TMPO為磷源，沉積制備鋰磷氧氮修飾層。
3.根據權利要求1或2所述的微型固態薄膜鋰電池的制備方法，其特征是：沉積金屬Al薄膜厚度為0.15－0.25μm，沉積V2O5薄膜厚度為0.1-0.5μm；采用磁控濺射技術，濺射沉積LiPON固態電解質薄膜，薄膜厚度為0.5-1.0μm；沉積金屬Li薄膜作為負極時，真空蒸發法蒸發沉積Li負極薄膜，薄膜厚度為0.5-1.0μm。
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