[發明專利]一種顯影設備及顯影方法

在審

• 申請號: 201710668873.3
• 申請日: 2017-08-08
• 公開（公告）號: CN107552254A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 陳建鋒
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B05B1/04
• 分類號: B05B1/04;B05B13/02;B05B13/04;G03F7/30
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙)44300
• 代理人: 黃威

【技術領域】

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種顯影設備及顯影方法。

【背景技術】

現有的顯示面板主要包括有液晶(Liquid Crystal Display，LCD)顯示面板和OLED(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板。其中，OLED顯示面板具有自發光、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬，可實現柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優點，被業界公認為是最有發展潛力的顯示面板。

現有的顯示面板中，在顯影工序中，噴嘴噴灑藥液均勻性較差，影響顯示面板的品質。

【發明內容】

本發明的一個目的在于提供一種顯影設備，其可以提高顯影過程中噴嘴噴灑藥液的均勻性。

本發明的另一個目的在于提供一種顯影方法，其可以提高顯影過程中噴嘴噴灑藥液的均勻性。

為解決上述問題，本發明的優選實施例提供了一種顯影設備，包括：

一顯影槽，所述顯影槽包括殼體；

一第一傳送裝置，貫穿所述顯影槽，用于傳送基板通過所述顯影槽；

多個第一噴嘴，設置在所述顯影槽內，并分別通過轉軸固定在所述第一傳送裝置上方，所述轉軸包括固定段和與所述固定段活動連接的擺動段，所述轉軸固定段與所述顯影槽殼體頂部固定連接，所述轉軸擺動段與第一噴嘴固定連接，所述多個第一噴嘴包括連接部和噴灑部，所述連接部上設有螺紋結構，并通過所述螺紋結構與所述轉軸固定連接，所述噴灑部包括與所述連接部連接的圓柱形的中間部，所述中間部中心設有噴灑口，所述中間部側邊設有第一擋板，所述第一擋板底部向內延伸形成第二擋板，以使所述多個第一噴嘴搖擺噴灑藥液至基板上，所述第一噴嘴為超低壓廣角扇形噴嘴。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述多個第一噴嘴包括多列第一噴嘴，其中任意一列的任意一個第一噴嘴設置在相鄰列的兩個第一噴嘴之間。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述第一傳送裝置傳送基板的傳送面與水平面為預設角度。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述顯影設備還包括：

第一水刀噴灑頭，設置在所述顯影槽入口處，用于在所述基板進入顯影槽時，在所述基板上設置一層水膜。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述顯影設備還包括：

消泡隔板，設置在所述第一傳送裝置的傳送面下方，所述消泡隔板設置在顯影槽底部且覆蓋整個顯影槽底部，所述消泡隔板上設有多個小孔，用于消除所述基板上下落藥液的氣泡。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述第一傳送裝置包括依次設置的第一傳送單元、第二傳送單元和第三傳送單元，所述第一傳送單元設置在所述顯影槽入口處，所述第二傳送單元設置在所述顯影槽內，所述第三傳送單元設置在所述顯影槽出口處，所述第一傳送單元和第三傳送單元的傳送速度大于所述第二傳送單元的傳送速度。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述顯影設備還包括：

水洗槽；

第二傳送裝置，貫穿所述水洗槽，用于將通過所述顯影槽的基板通過所述水洗槽；

多個第二噴嘴，設置在所述水洗槽內，并分別設置在所述第二傳送裝置的上方和下方，用于噴灑液體至所述基板的上表面和下表面，將所述基板上殘留的藥液沖走。

在本發明優選實施例的顯影設備中，所述顯影設備還包括：

第二水刀噴灑頭，設置在所述水洗槽入口處，用于在所述基板進入水洗槽時，在所述基板上設置一層水膜；

一種顯影方法，包括：

利用第一傳送裝置將基板傳送進顯影槽；

利用多個第一噴嘴將藥液搖擺噴灑至所述基板上，以使藥液均勻噴灑在所述基板上，其中所述多個第一噴嘴設置在所述顯影槽內，并分別通過轉軸固定在所述第一傳送裝置上方，所述轉軸包括固定段和與所述固定段活動連接的擺動段，所述轉軸固定段與所述顯影槽殼體頂部固定連接，所述轉軸擺動段與第一噴嘴固定連接，所述多個第一噴嘴包括連接部和噴灑部，所述連接部上設有螺紋結構，并通過所述螺紋結構與所述轉軸固定連接，所述噴灑部包括與所述連接部連接的圓柱形的中間部，所述中間部中心設有噴灑口，所述中間部側邊設有第一擋板，所述第一擋板底部向內延伸形成第二擋板，所述第一噴嘴為超低壓廣角扇形噴嘴；

將基板傳送出顯影槽。

在本發明優選實施例的顯影方法中，還包括：

將所述基板快速傳送進顯影槽；