[發(fā)明專利]犧牲層結(jié)構(gòu)及采用該結(jié)構(gòu)剝離材料層的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710668552.3 | 申請日： | 2017-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN107403860B | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郭桓邵;吳俊毅;吳超瑜;王篤祥 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津三安光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/46 | 分類號： | H01L33/46 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300384 天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 犧牲 結(jié)構(gòu) 采用 剝離 材料 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種發(fā)光二極管的鏡面制作方法，包括步驟：
（1）提供一LED外延結(jié)構(gòu)，具有對相的第一表面和第二表面，其中第一表面為出光面，第二表面劃分為歐姆接觸區(qū)和光反射區(qū)；
（2）在所述LED外延結(jié)構(gòu)第二表面的歐姆接觸區(qū)形成一犧牲層，所述犧牲層呈上寬下窄狀；
（3）在所述外延結(jié)構(gòu)的第二表面上沉積透光層，由于所述犧牲層呈上寬下窄狀，使得所述透光層覆蓋在所述犧牲層的部分與覆蓋在所述外延結(jié)構(gòu)第二表面的光反射區(qū)的部分?jǐn)嚅_；
（4）去除所述犧牲層，從而將位于所述犧牲層表面上的透光層剝離，形成圖案化的透光層；
（5）在所述透光層上形成金屬反射層。
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