[發(fā)明專利]具有分開z軸部分的微電子機械系統(tǒng)（MEMS）質(zhì)量塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710665108.6
• 申請日: 2013-01-14
• 公開（公告）號: CN107576322B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設計）人: C·阿卡
• 申請（專利權）人: 上海矽睿科技有限公司
• 主分類號: G01C19/5733
• 分類號: G01C19/5733;G01C19/5726;G01P15/125;G01P15/18
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

除了其他情況之外，本發(fā)明討論了用于包括分開z軸部分的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)質(zhì)量塊。示例性質(zhì)量塊可包括中心部分，其被配置為將所述質(zhì)量塊錨定于相鄰層；第一z軸部分，其被配置為使用第一鉸鏈圍繞第一軸旋轉，所述第一軸平行于與z軸正交的x?y平面；第二z軸部分，其被配置為使用第二鉸鏈圍繞第二軸旋轉，所述第二軸平行于所述x?y平面，其中所述第一z軸部分被配置為獨立于所述第二z軸部分旋轉。

該申請是申請日為2013年1月14日、發(fā)明名稱為“具有分開z軸部分的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)質(zhì)量塊”的中國專利申請201380007523.2的分案申請。

相關申請的交叉引用

本申請要求2012年2月1日提交的名稱為“MEMS PROOF MASS WITH SPLIT Z-AXISPORTIONS”(具有分開Z軸部分的微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 質(zhì)量塊)的美國專利申請序列號13/363,537的優(yōu)先權的權益，該專利申請全文以引用方式并入本文。

本申請與2011年9月18日提交的授予Acar的名稱為“MICROMACHINED MONOLITHIC3-AXIS GYROSCOPE WITH SINGLE DRIVE”(具有單驅動的微機械單片式三軸陀螺儀)的國際申請No.PCT/US2011/052065相關，該國際申請要求2010年9月18日提交的授予Acar的名稱為“MICROMACHINED MONOLITHIC 3-AXIS GYROSCOPE WITH SINGLE DRIVE”(具有單驅動的微機械單片式三軸陀螺儀)的美國臨時專利申請序列號61/384,245的優(yōu)先權的權益，并且本申請與2011年9月18日提交的授予Acar的名稱為“MICROMACHINED 3-AXISACCELEROMETER WITH A SINGLE PROOF-MASS”(具有單質(zhì)量塊的微機械三軸加速計)的國際申請No. PCT/US2011/052064相關，該國際申請要求2010年9月18日提交的授予Acar 的名稱為“MICROMACHINED 3-AXIS ACCELEROMETER WITH A SINGLE PROOF-MASS”(具有單質(zhì)量塊的微機械三軸加速計)的美國臨時專利申請序列號61/384,246的優(yōu)先權的權益，據(jù)此所述專利申請各自全文以引用方式并入本文。

技術領域

本申請涉及傳感技術，尤其涉及具有分開Z軸部分的微電子機械系統(tǒng) (MEMS)質(zhì)量塊。

背景技術

若干單軸或多軸微機械加速計結構已經(jīng)集成到系統(tǒng)中，以形成各種傳感器。隨著此類傳感器的尺寸變得越來越小并且所需靈敏度越來越強，加速計的某些組件上的小尺度應力就可減損傳感器的精確度。

發(fā)明內(nèi)容

除其他情況之外，本文檔討論了用于包括分開z軸部分的質(zhì)量塊的裝置和方法。示例性質(zhì)量塊可包括中心部分，其被配置為將質(zhì)量塊錨定于相鄰層；第一z軸部分，其被配置為使用第一鉸鏈圍繞第一軸旋轉，第一軸平行于與z軸正交的x-y平面；第二z軸部分，其被配置為使用第二鉸鏈圍繞第二軸旋轉，第二軸平行于x-y平面，其中第一z軸部分被配置為獨立于第二z軸部分旋轉。

本發(fā)明內(nèi)容旨在提供對本專利申請主題的概述。并非要提供本發(fā)明的排他或窮舉性說明。詳細描述包括在內(nèi)以提供關于本專利申請的更多信息。

附圖說明

在附圖中(這些附圖不一定是按照比例繪制的)，相同的數(shù)字可以描述不同視圖中的類似部件。具有不同字母后綴的相同數(shù)字可以表示類似部件的不同示例。附圖通過示例而非限制的方式概括地示例了本文檔中討論的各個實施例。

圖1A、2A和3A概括地示例了具有分開z軸部分的示例性質(zhì)量塊。

圖1B、2B和3B概括地示例了具有分開z軸部分的質(zhì)量塊的透視圖。

圖4概括地示例了包括具有分開z軸部分的加速計質(zhì)量塊的示例性陀螺儀與加速計傳感器。