[發明專利]一種噴嘴距離可調的噴銫裝置

有效

• 申請號: 201710661921.6
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN107457110B
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 李冬;徐強;左晨;李小飛;趙鵬;張權;王弘毅;陳德智
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B05B12/12
• 分類號: B05B12/12;H01J9/02;H01J27/02
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 廖盈春;曹葆青

1.一種噴嘴距離可調的噴銫裝置，其特征在于，包括：移動平臺單元(100)、噴銫裝置主體單元(200)和負離子腔室單元(300)；

所述噴銫裝置主體單元(200)包括：儲銫單元(210)、第一傳導單元(220)、第二傳導單元(230)，所述儲銫單元(210)設置于所述第一傳導單元(220)的下側，用于銫的存儲和蒸發；所述第一傳導單元(220)和所述第二傳導單元(230)直接相連，兩者均用于對銫的傳輸；

所述負離子腔室單元(300)包括：第一伸縮波紋管(301)、負離子腔室(303)和柵極板(304)；所述第一伸縮波紋管(301)的一端與所述噴銫裝置主體單元(200)相連，所述第一伸縮波紋管(301)的另一端與所述負離子腔室(303)相連；所述負離子腔室(303)用于對銫等粒子的承接，所述柵極板(304)設置于所述負離子腔室(303)遠離所述噴嘴(233)側，用于銫的沉覆；

所述移動平臺單元(100)用于配合所述第一伸縮波紋管(301)移動所述噴銫裝置主體單元(200)，同時還對所述噴銫裝置主體單元(200)起到支撐作用；

當所述移動平臺單元(100)帶動所述噴銫裝置主體單元(200)移動時，所述第一伸縮波紋管(301)沿相同方向伸或縮，從而改變了所述噴嘴(233)與所述柵極板(304)的距離。

2.如權利要求1所述的噴銫裝置，其特征在于，所述負離子腔室單元(300)還包括第三CF法蘭(302)，所述第三CF法蘭(302)設置于所述負離子腔室(303)上，用于實現所述第一伸縮波紋管(301)和所述負離子腔室(303)的密封連接。

3.如權利要求1所述的噴銫裝置，其特征在于，所述儲銫單元(210)包括：安瓿瓶(212)、儲銫管(211)和第一CF法蘭(213)；

所述安瓿瓶(212)設置在所述儲銫管(211)的底端，用于儲存銫；

所述儲銫管(211)為下細上粗結構，與所述第一傳導單元(220)匹配連接，用于對所述安瓿瓶(212)破裂時釋放出的銫進行存儲及蒸發；

所述第一CF法蘭(213)用于連接所述儲銫管(211 )與所述第一傳導單元(220)，且當所述安瓿瓶(212)中的銫消耗完需更換時便于拆卸。

4.如權利要求1所述的噴銫裝置，其特征在于，所述第一傳導單元(220)包括：盲板(221)、第一全金屬管閥(222)、第一傳導管(223)和第二全金屬管閥(224)；

所述盲板(221)通過所述第一全金屬管閥(222)和所述第一傳導管(223)相連，為抽真空預留接口，所述第一傳導管(223)為中間粗且兩邊細結構，所述第一傳導管(223)和所述第二傳導單元(23 0)通過所述第二全金屬管閥(224)連接，所述第二全金屬管閥(224)用于控制銫蒸發的通斷。

5.如權利要求1-4任一項所述的噴銫裝置，其特征在于，所述第二傳導單元(230)包括：第二CF法蘭(231)、第二傳導管(232)和噴嘴(233)；

所述第二CF法蘭(231)設置于所述第二傳導管(232)的遠離噴嘴(233)端，用于實現所述噴銫裝置主體單元(200)和所述第一伸縮波紋管(301)的密封連接；

所述第二傳導管(232)的一端與所述第一傳導單元(220)連接，所述第二傳導管(232 )的另一端通入所述負離子腔室(303)，用于實現銫的傳輸；

所述噴嘴(233)設置于所述第二傳導管(232)的末端，作為銫蒸汽的噴出口。