[發(fā)明專利]具有位置測定部的部件以及測定方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710659421.9
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN107702642B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藤岡孝弘;池田賢元
• 申請（專利權(quán)）人: 納盧克斯株式會社
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G02B5/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;韓香花

本發(fā)明提供具有位置測定部的部件以及測定方法，在該測定方法中，通過位置測定部來測定部件的位置。在該測定方法中，測定具有多個位置測定部的對象面的位置，該對象面的擴散反射率為0.1％以下，該多個位置測定部的擴散反射率為5％以上，該對象面被形成為如下：該多個位置測定部中的各個位置測定部的設(shè)置部位的各點處的切平面相對于某一個方向呈從15度到75度的范圍內(nèi)的任意角度。該測定方法包含如下步驟：以該一個方向的平行光來照射該對象面；根據(jù)該對象面的圖像，確定該多個位置測定部的邊界線的位置；以及根據(jù)該多個位置測定部的邊界線的位置，確定該對象面的位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有位置測定部的部件以及測定方法。

背景技術(shù)

例如，在具有棱鏡面的部件的情況下，需要高精度地確保棱鏡面與使光線透射的其他面所呈的角度。因此，需要高精度地測定棱鏡面相對于使光線透射的其他面所呈的角度。這樣，在對部件的兩個面所呈的角度進行測定的情況下，以往，用適當?shù)拿媲袛嗖考谠摻孛嫔蠈蓚€面所呈的角度進行了測定。但是，在以往的測定方法中存在以下的問題點。第一，部件的切斷比較麻煩。第二，由于切斷時的部件的變形、或因切斷而產(chǎn)生的飛邊等而無法高精度地測定角度。第三，由于切斷面的確定方法而導(dǎo)致角度的測定值中產(chǎn)生偏差。因而，通過以往的測定方法來高精度地測定部件的兩個平面所呈的角度是很難的。

另一方面，在以往技術(shù)中開發(fā)了如下方法：根據(jù)相當于位置測定部的位置標記來進行兩個部件的對位(專利文獻1和專利文獻2)。但是，并沒有開發(fā)出通過位置測定部來測定部件的兩個平面所呈的角度的方法以及被構(gòu)成為能夠通過位置測定部來測定兩個平面所呈的角度的部件。

專利文獻1：日本特開2008-216905號公報

專利文獻2：日本特開2014-137410號公報

發(fā)明內(nèi)容

通常，對于通過位置測定部來測定部件的面的位置、或者部件的兩個平面所呈的角度的方法、以及被構(gòu)成為能夠通過位置測定部來測定部件的兩個平面所呈的角度的部件存在需求。因此，本發(fā)明的課題在于，提供通過該位置測定部來測定部件的面的位置、或者部件的兩個平面所呈的角度的方法、以及被構(gòu)成為能夠通過位置測定部來測定部件的兩個平面所呈的角度的部件。

本發(fā)明的第1方式的測定方法，其是測定具有多個位置測定部的對象面的位置的測定方法，其中，該對象面的擴散反射率為0.1％以下，該多個位置測定部的擴散反射率為5％以上，該對象面被形成為如下：該多個位置測定部中的各個位置測定部的設(shè)置部位的各點處的切平面的法線相對于某一個方向呈15度到75度的范圍內(nèi)的任意的角度。該測定方法包含如下步驟：以該一個方向的平行光來照射該對象面；根據(jù)該對象面的圖像，確定該多個位置測定部的邊界線的位置；以及根據(jù)該多個位置測定部的邊界線的位置，確定該對象面的位置。

在本方式的測定方法中，通過根據(jù)該對象面的圖像來明確地確定該多個位置測定部的邊界線的位置，能夠高精度地測定該對象面的位置。

在本發(fā)明的第1方式的第1實施方式的測定方法中，該對象面是具有第1平面以及相對于該第1平面呈15度到75度的范圍內(nèi)的角度的第2平面的部件中的該第2平面，該部件在該第2平面上具有以能夠確定該第2平面的方式彼此隔開充分的間隔而配置的至少三個位置測定部，在照射該對象面的步驟中，利用相對于該第1平面垂直的方向的平行光來照射該第2平面。

在本實施方式的測定方法中，通過根據(jù)該第2平面的圖像來明確地確定該至少三個位置測定部的邊界線的位置，能夠高精度地測定該第2平面的位置。

本發(fā)明的第1方式的第2實施方式的測定方法還包含如下步驟：使用該第2平面的位置來確定該第1平面與該第2平面之間的角度。