[發明專利]光波導干涉儀和用于制造光波導干涉儀的方法

有效

• 申請號: 201710658167.0
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN107688210B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 小島啟介;王炳南;秋濃俊昭;秋山浩一;柳生榮治;西川智志;篠原弘介
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12;G02B6/136
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 程晨

1.一種光波導干涉儀，包括：

第一光學部；

第二光學部；

一組光波導，所述一組光波導連接第一光學部和第二光學部，以使得在第一光學部和第二光學部之間傳播的光通過所述組中的每個光波導，其中，所述一組光波導包括具有第一長度和第一寬度的第一光波導以及具有第二長度和第二寬度的第二光波導，其中，第二長度大于第一長度，第二寬度大于第一寬度，

其中，所述第一光波導和所述第二光波導的寬度是均勻的。

2.一種光波導干涉儀，包括：

第一光學部；

第二光學部；

一組光波導，所述一組光波導連接第一光學部和第二光學部，以使得在第一光學部和第二光學部之間傳播的光通過所述組中的每個光波導，其中，所述一組光波導包括具有第一長度和第一寬度的第一光波導以及具有第二長度和第二寬度的第二光波導，其中，第二長度大于第一長度，第二寬度大于第一寬度；

其中，波導中的至少一個的寬度是非均勻的，并且其中，所述第一寬度是第一光波導在第一長度上的平均寬度，并且其中，所述第二寬度是第二光波導在第二長度上的平均寬度；

其中，所述光波導中的每個包括較寬的段和至少一個比所述較寬的段窄的段；

其中，所述第二光波導的所述較寬的段的寬度大于所述第一光波導的所述較寬的段的寬度。

3.根據權利要求1或2所述的光波導干涉儀，

其中，所述第一光學部是分支部，所述分支部包括用于將光接收到分支部中的至少一個分支輸入端口以及用于將光從分支部輸出的至少兩個分支輸出端口，其中，所述兩個分支輸出端口包括連接到第一光波導的第一分支輸出端口以及連接到第二光波導的第二分支輸出端口，并且

其中，所述第二光學部是光耦合部，所述光耦合部包括用于將光接收到耦合部中的至少兩個耦合輸入端口以及用于將光從耦合部輸出的至少一個耦合輸出端口，其中，所述兩個耦合輸入端口包括連接到第一光波導的第一耦合輸入端口以及連接到第二光波導的第二耦合輸入端口。

4.根據權利要求1或2所述的光波導干涉儀，其中，第一光波導的有效折射率大于第二光波導的有效折射率。

5.根據權利要求4所述的光波導干涉儀，其中，第一寬度和第二寬度被選為使得第一波導的第一長度和有效折射率偏差的乘積等于第二波導的第二長度和有效折射率偏差的乘積。

6.根據權利要求5所述的光波導干涉儀，其中，當第一長度是L₁、第二長度是L₂、第一偏差是Δn₁并且第二偏差是Δn₂時，第一寬度和第二寬度被確定為使得L₁和Δn₁的乘積與L₂和Δn₂的乘積之間的差異小于10％。

7.根據權利要求5所述的光波導干涉儀，其中，第一寬度和第二寬度被確定為使得L₁·Δn₁＝α·L₂·Δn₂并且0.9≤α≤1.1。

8.根據權利要求1所述的光波導干涉儀，其中，所述光干涉儀是不對稱馬赫-曾德爾干涉儀。

9.根據權利要求1所述的光波導干涉儀，其中，所述光干涉儀是陣列波導光柵。

10.根據權利要求1所述的光波導干涉儀，其中，所述光干涉儀包括兩個多模干涉設備和多于兩個的互連波導。

11.根據權利要求1所述的光波導干涉儀，其中，所述一組光波導包括多于兩個的波導，其中，所述組中的所有波導都具有不同長度和不同寬度，所述不同長度和不同寬度被選為使得比另一個波導長的每個光波導比所述另一個波導寬。