[發(fā)明專利]類金剛石薄膜和鏡片的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710657916.8
• 申請(qǐng)日: 2017-08-03
• 公開（公告）號(hào): CN107587121B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王新華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市科益實(shí)業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/511
• 分類號(hào): C23C16/511;C23C16/26;C08J5/18;C08K3/36;C08L63/00
• 代理公司: 深圳精智聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44393
• 代理人: 夏聲平

1.一種鏡片的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供一透明基底；

利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法，在反應(yīng)腔中通入甲烷、氫氣和氧氣的混合氣體，選用頻率為915MHz的固態(tài)微波源、溫度為400℃、微波功率為1.5kW ～2.5kW ,氣壓20～30mbar，在所述透明基底下表面形成親水性類金剛石薄膜；

利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法，在反應(yīng)腔中通入甲烷、氫氣和氧氣的混合氣體，選用頻率為915MHz的固態(tài)微波源、溫度為400℃、微波功率為3kW ～4kW ,氣壓35～45mbar，在所述透明基底上表面形成疏水性類金剛石薄膜；

其中，所述制備方法還包括在所述透明基底的所述下表面、所述上表面分別形成有第一結(jié)合層、第二結(jié)合層，所述親水性類金剛石薄膜、所述疏水性類金剛石薄膜分別形成在所述第一結(jié)合層、所述第二結(jié)合層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鏡片的制備方法，其特征在于，所述混合氣體中：所述甲烷、氫氣和氧氣的體積流量之比為3：100：1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述鏡片的制備方法，其特征在于，所述混合氣體中：所述甲烷、氫氣和氧氣的體積流量分別為12sccm、400sccm、4sccm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述鏡片的制備方法，其特征在于，所述親水性類金剛石薄膜和/或所述疏水性類金剛石薄膜的形成速度為1μm/45～60min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述鏡片的制備方法，其特征在于，所述第一結(jié)合層和/或所述第二結(jié)合層的材質(zhì)選自納米二氧化硅-環(huán)氧樹脂、有機(jī)硅樹脂。

6.一種親水性類金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法，在反應(yīng)腔中通入甲烷、氫氣和氧氣的混合氣體，選用頻率為915MHz的固態(tài)微波源、溫度為400℃、微波功率為1.5kW ～2.5kW ,氣壓20～30mbar，在基底表面形成親水性類金剛石薄膜。

7.一種疏水性類金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法，在反應(yīng)腔中通入甲烷、氫氣和氧氣的混合氣體，選用頻率為915MHz的固態(tài)微波源、溫度為400℃、微波功率為3kW ～4kW ,氣壓35～45mbar，在基底表面形成疏水性類金剛石薄膜。