[發明專利]一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備及方法

在審

• 申請號: 201710657221.X
• 申請日: 2017-08-03
• 公開（公告）號: CN107236933A
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 朱建明
• 申請（專利權）人: 肇慶市科潤真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/56
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司44245
• 代理人: 謝靜娜

1.一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，沿柔性基材的輸送方向，包括依次連接的放卷室、離子處理室、多個鍍膜室和收卷室，離子處理室和多個鍍膜室沿鍍膜水冷輥的外周進行分布，放卷室和收卷室分別設于鍍膜水冷輥的兩側；多個鍍膜室中，位于中部的鍍膜室中設置連續式蒸發鍍膜源，其余各鍍膜室中設置中頻磁控靶；

連續式蒸發鍍膜源包括蒸發器、蒸發器擋板和鍍料絲供料機構，蒸發器設于鍍膜室底部，蒸發器的開口朝向柔性基材的表面，蒸發器擋板設于蒸發器的開口上方，鍍料絲供料機構設于蒸發器的一側，鍍料絲供料機構向蒸發器中供應鍍料絲。

2.根據權利要求1所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述蒸發器包括蒸發源水冷座、蒸發源輸入電極、蒸發舟、蒸發電極絕緣套和電極冷卻水接咀，蒸發源水冷座為上部開口的箱體狀結構，蒸發舟設于蒸發源水冷座內，蒸發舟底部設置蒸發源輸入電極，蒸發源輸入電極內設有冷卻通道，冷卻通道的入口處設有電極冷卻水接咀，蒸發源輸入電極與鍍膜室外壁的相接處設有蒸發電極絕緣套。

3.根據權利要求2所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍料絲供料機構包括鍍料絲卷盤、送絲輪和送絲咀，鍍料絲纏繞于鍍料絲卷盤上，鍍料絲卷盤的輸出端設置送絲輪，送絲咀安裝于蒸發源水冷座上，鍍料絲沿送絲輪輸出后，通過送絲咀送入蒸發源水冷座中。

4.根據權利要求1所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述離子處理室中設有冷陰極線性離子源，冷陰極線性離子源包括冷陰極離子源座、氣體接咀、磁鐵、陰極、陰極絕緣套、輔助陽極、陽極絕緣套和柵板組件；冷陰極離子源座為上部開口的箱體狀結構，氣體接咀貫穿于冷陰極離子源座的底部，位于氣體接咀外周的冷陰極離子源座底面設有磁體，陰極設于氣體接咀的上端，氣體接咀與冷陰極離子源座的連接處設有陰極絕緣套，位于陰極上方的冷陰極離子源座內壁設有輔助陽極，輔助陽極與冷陰極離子源座的連接處設有陽極絕緣套；冷陰極離子源座頂部設有柵板組件。

5.根據權利要求4所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述柵板組件包括柵板固定塊、內柵孔板、外柵孔板、柵板壓塊和柵板壓塊絕緣套，柵板固定塊設于冷陰極離子源座頂部，內柵孔板和外柵孔板依次設于柵板固定塊上方，外柵孔板頂部設置柵板壓塊，柵板壓塊外周設置柵板壓塊絕緣套。

6.根據權利要求5所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述陰極和輔助陽極之間外接100～1000V的電源，外柵孔板和內柵孔板之間外接100～500V的電源。

7.根據權利要求1所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述放卷室與離子處理室的連接處設有大氣隔離真開鎖，多個鍍膜室與收卷室的連接處也設有大氣隔離真空鎖；

大氣隔離真空鎖包括壓緊氣缸、氣缸密封座、隔離密封座和壓緊密封膠輥，隔離密封座底部設有柔性基材通過用的基材通道，且位于基材通道上下兩側的隔離密封座底部設有圓柱狀凹槽，圓柱狀凹槽底部位于基材通道下方，圓柱狀凹槽上部位于基材通道上方且與隔離密封座的內部空間想通，壓緊密封膠輥設于隔離密封座的內部空間中，壓緊密封膠輥頂部與壓緊氣缸的輸出端連接，壓緊氣缸通過氣缸密封座安裝于隔離密封座上方；大氣隔離真空鎖閉合時，壓緊密封膠輥的下部嵌入圓柱狀凹槽中。

8.根據權利要求7所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述壓緊密封膠輥的兩端對稱設有兩個壓緊氣缸。

9.根據權利要求1所述一種柔性基材鍍厚膜用的鍍膜設備，其特征在于，所述多個鍍膜室中，任意相鄰的兩個鍍膜室之間設有隔離板，隔離板靠近鍍膜水冷輥的一側設有隔離板水冷座，隔離板水冷座與鍍膜水冷輥之間的間隙為基材通道，且間隙寬度不超過1mm；隔離板內設有與隔離板水冷座連通的冷卻水路，隔離板水冷座的寬度大于100mm。

10.根據權利要求1～9任一項所述設備實現的柔性基材鍍厚膜用的鍍膜方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)柔性基材由放卷室放出后，先進入離子處理室，對柔性基材表面進行離子粗化和除氣處理；

(2)柔性基材完成離子處理后，沿鍍膜水冷輥的轉動依次送入各個鍍膜室中，先由中頻磁控靶對柔性基材表面進行至少一次濺射鍍膜，然后通過連續式蒸發鍍膜源對柔性基材進行蒸發鍍膜，再由中頻磁控靶對柔性基材表面進行至少一次濺射鍍膜；

(3)完成鍍膜后，柔性基材送入收卷室中進行收卷。