[發(fā)明專利]氣相質(zhì)譜儀在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710652871.5 | 申請日： | 2017-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN109390205A | 公開（公告）日： | 2019-02-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫延鋒;姜杰;顧大偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 天源華威集團有限公司 |
| 主分類號： | H01J49/04 | 分類號： | H01J49/04 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 談杰 |
| 地址： | 212000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 底盤 管體 旋轉(zhuǎn)托盤 檢測器 質(zhì)譜儀 表面粗糙度 鋁合金材料 質(zhì)量分析器 沖壓成型 獨立整體 檢測物質(zhì) 使用壽命 順次連接 真空系統(tǒng) 阻力系數(shù) 離子源 平面度 平行度 磨擦 組裝 檢測 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種氣相質(zhì)譜儀，其包括順次連接的離子源、質(zhì)量分析器、檢測器和真空系統(tǒng)，其特征在于：所述檢測器具有旋轉(zhuǎn)托盤，所述旋轉(zhuǎn)托盤包括底盤與管體，底盤與管體獨立整體沖壓成型后組裝在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相質(zhì)譜儀，其特征在于：所述底盤與管體采用中性鋁合金材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相質(zhì)譜儀，其特征在于：所述底盤與管體的平面度為0.05mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣相質(zhì)譜儀，其特征在于：所述底盤與管體的平行度為0.07mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣相質(zhì)譜儀，其特征在于：所述底盤與管體的表面粗糙度為Ra1.0-Ra1.7。
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