[發明專利]有機發光面板及其制作方法、有機發光裝置

有效

• 申請號: 201710652477.1
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN107482130B
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發明（設計）人: 吳長晏;全威;劉則
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 劉延喜;王增鑫

1.一種有機發光面板，其特征在于，包括：基板、有機層、設于所述有機層一側的第一電極及設于所述有機層另一側的第二電極；所述第一電極設于所述有機層靠近所述基板的一側，有機層發出的光經由第二電極引出，所述第二電極包括依次層疊在所述有機層上的緩沖電極層和導電電極層；其中，所述緩沖電極層為高電阻層，導電電極層為高導電率層；所述緩沖電極層、導電電極層的元素種類相同，所述緩沖電極層的厚度為20nm～50nm，所述導電電極層的厚度為100nm～300nm；所述緩沖電極層的電阻率大于0.1歐姆*厘米。

2.根據權利要求1所述的有機發光面板，其特征在于，所述緩沖電極層、導電電極層的材料均為透明導電氧化物。

3.根據權利要求1所述的有機發光面板，其特征在于，所述緩沖電極層的方塊電阻的阻值為0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述導電電極層的方塊電阻的阻值為14Ω/□～16Ω/□。

4.根據權利要求1所述的有機發光面板，其特征在于，所述第一電極遠離所述有機層的一側還設有反射層。

5.根據權利要求1所述的有機發光面板，其特征在于，所述第一電極和第二電極均由透明導電氧化物制成。

6.根據權利要求5所述的有機發光面板，其特征在于，所述第一電極包括由銦、錫和氧組成的化合物，第二電極包括由銦、鋅和氧組成的化合物。

7.根據權利要求1所述的有機發光面板，其特征在于，所述有機層發出的是白光。

8.一種有機發光面板的制作方法，其特征在于，所述有機發光面板為權利要求1-7任一項所述的有機發光面板，該方法包括：

在基板上形成第一電極；

在所述第一電極上形成有機層；

在所述有機層上濺鍍第二電極，所述第二電極包括依次層疊在所述有機層上的緩沖電極層和導電電極層；其中，所述緩沖電極層為高電阻層，導電電極層為高導電率層；所述緩沖電極層、導電電極層的元素種類相同，所述緩沖電極層的厚度為20nm～50nm，所述導電電極層的厚度為100nm～300nm；所述緩沖電極層的電阻率大于0.1歐姆*厘米。

9.根據權利要求8所述的發光面板的制作方法，其特征在于，所述緩沖電極層的制作工藝條件包括：濺鍍功率為0.9～1.1kw，氬流量為430～470sccm，氧氣流量4.3～4.7sccm，氣壓為3.0～3.2pa；所述導電電極層的制作工藝條件包括：濺鍍功率為2.1～2.5kw，氬流量為68～72sccm，氣壓為0.65～0.69pa。

10.根據權利要求8所述的有機發光面板的制作方法，其特征在于，所述緩沖電極層、導電電極層均采用直流磁控反應濺鍍。

11.一種有機發光裝置，其特征在于，包括如權利要求1至7任一項所述的有機發光面板。