[發明專利]一種N型雙面太陽能電池片及其制作方法有效
| 申請號: | 201710651976.9 | 申請日: | 2017-08-02 |
| 公開(公告)號: | CN107393976B | 公開(公告)日: | 2019-05-10 |
| 發明(設計)人: | 李宏偉;包健;金浩;張昕宇;王金藝;徐冠群;廖輝 | 申請(專利權)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/0216 | 分類號: | H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙面 太陽能電池 及其 制作方法 | ||
本發明公開了一種N型雙面太陽能電池片及其制作方法,包括:提供一N型硅片;在所述N型硅片的正面擴散一P型擴散層;在所述P型擴散層背離所述N型硅片一側依次形成正面鈍化層和第一減反射層的疊層、及在所述N型硅片的背面依次形成二氧化硅層和第二減反射層的疊層,其中,所述二氧化硅層為采用熱擴散工藝在所述N型硅片的背面擴散而成;在所述第一減反射層背離所述N型硅片一側形成正面柵線電極、及在所述第二減反射層背離所述N型硅片一側形成背面柵線電極。由上述內容可知,本發明提供的技術方案,通過熱擴散工藝在N型硅片的背面擴散形成二氧化硅層,保證二氧化硅層的鈍化效果高,提高N型雙面太陽能電池片的光電轉換效率。
技術領域
本發明涉及太陽能電池片技術領域,更為具體的說,涉及一種N型雙面太陽能電池片及其制作方法。
背景技術
常規的化石燃料日益消耗殆盡,在現有的可持續能源中,太陽能無疑是一種清潔、普遍和潛力高的替代能源。太陽能電池,也稱光伏電池,是一種將太陽的光能直接轉化為電能的半導體器件。由于它是綠色環保產品,不會引起環境污染,而且太陽能是可再生資源,所以在當今能源短缺的情形下,太陽能電池是一種有廣闊發展前途的新型能源,并受到了廣泛的關注。
在太陽能電池所使用的基底材料中,N型晶體硅比P型晶體硅具有更長的少子壽命,N型晶體硅的光衰減性能則更為穩定,因此,在N型硅片上進行電池制作形成的N型雙面太陽能電池,電池的兩面都可以吸收光線,使得太陽能電池發電效率更高。現有的N型雙面電池多采用疊層式雙面鈍化結構,能夠有效提高光電轉換效率,如N型雙面電池的背面一般采用二氧化硅層作為鈍化層;但是,采用現有沉積方法形成的二氧化硅層的鈍化效果較差。
發明內容
有鑒于此,本發明提供了一種N型雙面太陽能電池片及其制作方法,通過熱擴散工藝在N型硅片的背面擴散形成二氧化硅層,保證二氧化硅層的鈍化效果高,提高N型雙面太陽能電池片的光電轉換效率。
為實現上述目的,本發明提供的技術方案如下:
一種N型雙面太陽能電池片的制作方法,包括:
提供一N型硅片;
在所述N型硅片的正面擴散一P型擴散層;
在所述P型擴散層背離所述N型硅片一側依次形成正面鈍化層和第一減反射層的疊層、及在所述N型硅片的背面依次形成二氧化硅層和第二減反射層的疊層,其中,所述二氧化硅層為采用熱擴散工藝在所述N型硅片的背面擴散而成;
在所述第一減反射層背離所述N型硅片一側形成正面柵線電極、及在所述第二減反射層背離所述N型硅片一側形成背面柵線電極。
可選的,在所述N型硅片的背面形成所述二氧化硅層包括:
提供一輔助N型硅片,且所述輔助N型硅片的正面擴散一輔助P型擴散層;
將所述N型硅片的P型擴散層和所述輔助N型硅片的輔助P型擴散層相對緊貼設置為疊層結構;
將所述疊層結構放置于擴散爐,采用熱擴散工藝在所述N型硅片的背面擴散所述二氧化硅層、及在所述輔助N型硅片的背面擴散一輔助二氧化硅層。
可選的,所述第一減反射層和第二減反射層的材質相同,其中,在所述N型硅片的背面形成所述二氧化硅層后,形成所述正面鈍化層、所述第一減反射層和所述第二減反射層包括:
在所述P型擴散層背離所述N型硅片一側沉積所述正面鈍化層;
在所述正面鈍化層背離所述P型擴散層一側沉積所述第一減反射層,且同時在所述二氧化硅層背離所述N型硅片一側沉積所述第二減反射層。
可選的,在所述N型硅片的背面形成所述二氧化硅層和所述第二減反射層包括:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





