[發明專利]一種濕法刻蝕方法、雙面太陽電池及其制作方法

有效

• 申請號: 201710651965.0
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN107394009B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 徐冠群;包健;金浩;張昕宇;廖暉;李宏偉;陳周;王金藝
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068;H01L21/311;H01L21/306
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

本發明公開了一種濕法刻蝕方法、雙面太陽能電池及其制作方法，控制襯底結構的磷硅玻璃層浸入第一刻蝕液，裸露硼擴散層和硼硅玻璃層，去除磷硅玻璃層，不會對硼擴散層和硼硅玻璃層造成影響；將襯底結構兩表面反轉，控制襯底結構的邊緣磷擴散層、硼擴散層和硼硅玻璃層浸入第二刻蝕液，裸露磷擴散層，去除邊緣磷擴散層，由于硼硅玻璃層對硼擴散層的保護作用而并不對硼擴散層造成影響；控制襯底結構的硼硅玻璃層浸入第三刻蝕液，且裸露磷擴散層，去除硼硅玻璃層，不會對磷擴散層造成影響，最終達到刻蝕的目的。通過濕法刻蝕及控制襯底結構漂浮在刻蝕液中條件，逐漸將磷硅玻璃層、邊緣磷擴散層及硼硅玻璃層去除，保證雙面太陽能電池的光電轉換效率高。

技術領域

本發明涉及太陽能電池制作技術領域，更為具體的說，涉及一種濕法刻蝕方法、雙面太陽能電池及其制作方法。

背景技術

常規的化石燃料日益消耗殆盡，在現有的可持續能源中，太陽能無疑是一種清潔、普遍和潛力高的替代能源。太陽能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉化為電能的半導體器件。由于它是綠色環保產品，不會引起環境污染，而且太陽能是可再生資源，所以在當今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種有廣闊發展前途的新型能源，并受到了廣泛的關注。

相較于單面太陽能電池，雙面太陽能電池具有更高的光電轉換效率等優勢，因而雙面太陽能電池越來越受到市場的青睞。現有的雙面太陽能電池經常會在襯底硅片一表面擴散硼擴散層后，在對襯底硅片另一表面擴散磷擴散層，而在對襯底硅片進行雙面擴散的過程中，會隨之生成硼硅玻璃、磷硅玻璃和襯底硅片邊緣不必要的擴散層，對此目前主要采用激光刻蝕工藝或等離子刻蝕工藝對其進行去除，但是上述刻蝕工藝會帶來雙面太陽能電池的光電轉換效率的下降等問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種濕法刻蝕方法、雙面太陽能電池及其制作方法，通過濕法刻蝕及控制襯底結構漂浮在刻蝕液中條件，逐漸將磷硅玻璃層、邊緣磷擴散層及硼硅玻璃層去除，保證雙面太陽能電池的光電轉換效率高。

為實現上述目的，本發明提供的技術方案如下：

一種濕法刻蝕方法，應用于雙面太陽能電池的制作方法，包括：

提供一襯底結構，所述襯底結構包括襯底硅片，所述襯底硅片一表面擴散有硼擴散層，且所述硼擴散層背離所述襯底硅片一側形成有硼硅玻璃層；及，所述襯底硅片背離所述硼擴散層一側擴散有磷擴散層，所述襯底硅片側面擴散有邊緣磷擴散層，且所述磷擴散層和所述邊緣磷擴散層背離所述襯底硅片一側形成有磷硅玻璃層；

控制所述襯底結構漂浮于第一刻蝕液中，刻蝕去除所述磷硅玻璃層，其中，所述磷硅玻璃層浸入所述第一刻蝕液，且裸露所述硼擴散層和所述硼硅玻璃層；

控制所述襯底結構漂浮于第二刻蝕液中，刻蝕去除所述邊緣磷擴散層，其中，所述邊緣磷擴散層、硼擴散層和硼硅玻璃層浸入所述第二刻蝕液，且裸露所述磷擴散層；

控制所述襯底結構漂浮于第三刻蝕液中，刻蝕去除所述硼硅玻璃，其中，所述硼硅玻璃層浸入所述第三刻蝕液，且裸露所述磷擴散層。

可選的，在刻蝕去除所述磷硅玻璃層、邊緣磷擴散層和硼硅玻璃層至一種或多種時，在所述襯底結構裸露表面設置一保護水膜。

可選的，所述第一刻蝕液為HF溶液，其中，所述第一刻蝕液的濃度范圍為1％-40％，包括端點值。

可選的，所述第二刻蝕液為KOH溶液、NaOH溶液或TMAH溶液，其中，所述第二刻蝕液的濃度范圍為10％-40％，包括端點值。

可選的，所述第二刻蝕液還添加有制絨添加劑組成混合刻蝕液，其中，所述制絨添加劑在混合刻蝕液中的體積比為1％-5％，包括端點值。

可選的，所述第三刻蝕液為HF溶液，其中，所述第一刻蝕液的濃度范圍為1％-40％，包括端點值。