[發明專利]高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器

有效

• 申請號: 201710650679.2
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN109387318B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 伍秀蘭;廖春慧;牛犇
• 申請（專利權）人: 成都凱天電子股份有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，包括：一個帶有進氣接嘴和腔室的底座（5），固聯在底座（5）腔室上部連通進氣接嘴的膜片式壓力轉換元件碗型隔離膜片（6），以及對接固聯所述底座（5）的插座組合件（10），并且插座組合件（10）上端面固聯有插座（19）和用于抽真空的焊接封孔（8），碗型隔離膜片（6）底部制有圓錐臺（17）和對稱圓錐臺（17）兩邊的波紋環，其特征在于：底座（5）的進氣接嘴內裝有濾掉來自于壓氣機通道進入的氣體壓力P1的脈沖，隔離氣體雜質，防止過大的脈沖壓力進入底座（5）的腔室損壞的碗型隔離膜片（6）的阻尼器（12）；固聯于碗型隔離膜片（6）圓錐臺（17）上端面的中心桿套管（15）與中心桿（11）下端螺紋連接，中心桿（11）上端固聯于電磁鐵組合（13）下端，電磁鐵組合（13）上端被階梯臺階筒杯止動器（14）上方頂端孔固聯；固聯在底座（5）腔室上部的碗型隔離膜片（6）的圓錐臺（17）上端面與固聯于底座（5）上端面外圓的插座組合件（10）的內腔形成真空室靜壓腔（9），且密封，固聯在底座（5）腔室上部的碗型隔離膜片（6）的下端面（18）與底座（5）的腔室及進氣接嘴內孔形成動壓腔，階梯臺階筒杯止動器（14）密封于所述的真空室靜壓腔（9）內，且鐵芯感應線圈（7）固聯于階梯臺階筒杯止動器（14）的上階梯孔上；真空室靜壓腔（9）隔絕外界氣壓作用在膜片式壓力轉換元件碗型隔離膜片（6）圓錐臺（17）上端面上，在溫度變化時，調節、穩定傳感器的高低溫性能；真空室靜壓腔（9）在密封前進行高溫凈化，真空凈化真空室靜壓腔（9），在被真空設備里凈化干凈后，讓真空室靜壓腔（9）充滿一個大氣壓的純凈氮氣，讓真空室靜壓腔（9）內的電磁鐵組合（13）、鐵芯感應線圈（7）元件去除易揮發雜質，在真空封焊時，真空室靜壓腔（9）隔絕外界氣壓作用在膜片式壓力轉換元件碗型隔離膜片（6）圓錐臺（17）上端面上，將真空室靜壓腔（9）原有氣體能被全部置換，至真空室靜壓腔（9）內的氣體氮氣全部抽出，再充入純凈氣體氦氣到要求的壓力后焊接封孔（8），碗型隔離膜片（6）作為膜片式壓力轉換元件，通過底座（5）進氣接嘴，感受從壓氣機通道進入的壓力P1而產生變形，帶動與碗型隔離膜片（6）固聯的中心桿套管（15）軸向移動，推動中心桿（11）及電磁鐵組合（13）運動，改變鐵芯感應線圈（7）的互感，產生與壓力壓差成正比變化的電壓信號，通過內置混合集成電路進行放大后插座組合件（10）輸出隨進氣絕對壓力呈線性增大特性的電壓信號。

2.按權利要求1所述的高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，其特征在于，真空室靜壓腔（9）在真空設備里凈化干凈后隨爐冷卻至常溫，向真空設備里充入純凈氣體氮氣到一個大氣壓，再開設備門取出傳感器。

3.按權利要求1所述的高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，其特征在于，根據調試確定的真空室靜壓腔（9）的氣體壓力，選擇滿足真空室靜壓腔（9）壓力的真空焊接設備，把傳感器放入真空焊接設備抽真空，至真空室靜壓腔（9）內的氣體氮氣全部抽出，再充入純凈氣體氦氣到要求的壓力后焊接封孔（8），保證密封。

4.按權利要求1所述的高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，其特征在于，插座組合件（10）內置上大下小的階梯筒杯止動器（14），該階梯臺階筒杯止動器（14）下端通過連接環（16）固聯于底座（5），且下端臺階圓筒坐落于碗型隔離膜片（6）內。

5.按權利要求1所述的高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，其特征在于，階梯臺階筒杯止動器（14）下端面限制碗型隔離膜片（6）因壓力P1過載時導致的向上的移動，防止碗型隔離膜片（6）產生塑性變形，引起性能改變甚至損壞。

6.按權利要求1所述的高壓壓氣機進氣管絕對壓力傳感器，其特征在于，固聯于階梯臺階筒杯止動器（14）的上階梯孔上的鐵芯感應線圈（7）有上、下兩個初級線圈和兩個次級線圈，兩個初級線圈串聯，與插座（19）的第一輸入端導線（1）和第二輸入端導線（2）連接后接交流激勵電壓，兩個次級線圈按電勢反向串聯，連接插座（19）的第一輸出端導線（3）和第二輸出端導線（4）。