[發(fā)明專利]一種金屬光柵的制作方法、金屬光柵及顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710648516.0
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN107462944B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曲連杰
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02B5/18
• 分類號(hào): G02B5/18
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

本發(fā)明公開了一種金屬光柵的制作方法、金屬光柵及顯示裝置，利用膠膜層形成多條相互平行的框條后，在框條之上和框條的間隙處形成連續(xù)分布且厚度均勻的金屬薄膜，利用沉積在框條側(cè)壁上的金屬薄膜形成線寬等于金屬薄膜厚度的金屬條，避免對(duì)金屬薄膜進(jìn)行納米級(jí)高分辨刻蝕，可以降低刻蝕難度，提高制作良率；在金屬薄膜的縫隙處形成填充條后，去除金屬條兩端連接的金屬薄膜部分，形成金屬光柵。采用上述制作方法形成的金屬光柵包括：基底層，設(shè)置于基底層上的多條相互平行的金屬條，以及在相鄰金屬條之間縫隙處間隔設(shè)置的框條和填充條；其中，金屬條的線寬僅與金屬薄膜的沉積厚度相關(guān)，可做到幾十納米甚至幾納米量級(jí)，有利于實(shí)現(xiàn)高分辨率的金屬光柵。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬光柵的制作方法、金屬光柵及顯示裝置。

背景技術(shù)

目前，在平板顯示面板中，內(nèi)置偏光片的制作方法有采用二項(xiàng)色性染料為偏光片的主要成分旋涂在液晶盒內(nèi)部形成內(nèi)置偏光片，受限材料限制的原因，其偏振度目前只能實(shí)現(xiàn)80％，遠(yuǎn)不能達(dá)到顯示面板要求的99.99％的偏振度要求，故不能應(yīng)用在實(shí)際產(chǎn)品中。

另一種內(nèi)置偏光片的形成方式為采用納米壓印的方式形成如圖1所示的金屬光柵作為內(nèi)置偏光片。具體地，制作過程包括以下步驟：

(1)如圖2a所示，在襯底1上沉積金屬膜2并涂敷膠膜3；

(2)如圖2b所示，利用曝光或者納米壓印的方式對(duì)膠膜3進(jìn)行構(gòu)圖形成遮擋圖案3’；

(3)如圖2c所示，利用遮擋圖案3’的遮擋，對(duì)金屬膜2進(jìn)行納米級(jí)高分辨刻蝕，形成金屬光柵2’；

(4)如圖2d所示，去除殘余的遮擋圖案3’。

上述制作方法制作周期在120nm的金屬光柵時(shí)，由于納米壓印的良率問題，尤其是在大尺寸上的問題，只獲得3寸的樣品，不利于應(yīng)用于大尺寸顯示面板。此外，納米壓印的良率比較低且工藝復(fù)雜，模板的成本很高，開發(fā)難度比較大；另外納米壓印屬于接觸式的機(jī)械制備，故對(duì)基板的平整度要求非常高。

并且，實(shí)現(xiàn)高分辨的金屬光柵，對(duì)于現(xiàn)有工藝和設(shè)備是個(gè)非常大的挑戰(zhàn)，目前的曝光只能到1μm量級(jí)，無法實(shí)現(xiàn)0.1μm的分辨率；雖然，納米壓印目前可以勉強(qiáng)到100nm量級(jí)，但是隨著分辨率提升，對(duì)應(yīng)的良率下降很快，目前還沒有成熟的工藝解決方案，只能停留在低分辨率基礎(chǔ)上。除了納米級(jí)圖案形成的困難之外，另一個(gè)問題是金屬光柵的刻蝕問題，目前的刻蝕設(shè)備均勻性還沒有到nm量級(jí)，因此形成的圖案很不規(guī)則，如圖3所示。

因此，如何制作高分辨且易刻蝕的高良率金屬光柵，是本領(lǐng)域亟需解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種金屬光柵的制作方法、金屬光柵及顯示裝置，用以解決現(xiàn)有的不易形成高分率且高良率的金屬光柵的問題。

因此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種金屬光柵的制作方法，包括：

在襯底基板上依次形成剝離層和膠膜層；

對(duì)所述膠膜層進(jìn)行刻蝕，形成多條相互平行的框條；

在所述框條之上和所述框條的間隙處形成連續(xù)分布且厚度均勻的金屬薄膜，所述金屬薄膜的厚度小于相鄰的所述框條之間間距的一半；

在所述金屬薄膜的縫隙處形成填充條；

去除所述金屬薄膜和所述填充條的上表面，形成上端斷開且與所述填充條上端齊平的多個(gè)金屬條；每相鄰的兩個(gè)所述金屬條為一組，每組中兩個(gè)所述金屬條的底端相互連接；

在所述填充條和所述金屬條之上形成基底層；

翻轉(zhuǎn)所述襯底基板之后，通過去除所述剝離層的方式，剝離所述襯底基板；

去除每組中兩個(gè)所述金屬條的底端相互連接的金屬薄膜部分，形成金屬光柵。