[發明專利]一種顯示面板成膜設備及方法

有效

• 申請號: 201710647166.6
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號: CN107400879B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 華梓同;吳勃;扈映茹;諶文娟;王東花;鄒志杰
• 申請（專利權）人: 成都天馬微電子有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/509;C23C16/52;G02F1/13
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種顯示面板成膜設備，其特征在于，包括：

至少一個真空腔體，每個所述真空腔體形成有真空腔室；

氣體輸送系統，與所述真空腔體連接，用于將氣體輸送至所述真空腔室；

待成膜基板，設置于所述真空腔室中；

氣體流速調控裝置，設置于所述真空腔室中，位于所述待成膜基板成膜的一側，且與所述待成膜基板具有一定間距，輸入所述真空腔室的所述氣體流經所述氣體流速調控裝置后，在所述待成膜基板上成膜；

所述氣體流速調控裝置用于調控流經所述氣體流速調控裝置的不同位置的氣體的流速；

還包括上部電極，位于所述真空腔室中，其中，

所述上部電極包括氣體擴散腔，所述氣體輸送系統與所述氣體擴散腔相連；

所述氣體擴散腔靠近所述待成膜基板的一側形成有多個通氣孔，通入所述氣體擴散腔的氣體經所述通氣孔和所述氣體流速調控裝置輸出到所述待成膜基板；

所述氣體流速調控裝置包括：

通氣孔開合單元，與所述通氣孔對應設置，用于調節所述通氣孔的可通氣區域的大??；

還包括：

通氣孔控制單元，連接于所述通氣孔開合單元，用于控制所述通氣孔開合單元的開合程度和開合狀態；

所述通氣孔開合單元和所述通氣孔控制單元位于所述通氣孔靠近所述氣體擴散腔一側。

2.根據權利要求1所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔開合單元包括至少一個旋轉葉片和至少一個固定軸，所述固定軸設置于所述通氣孔的周邊，所述旋轉葉片套于所述固定軸上并可繞所述固定軸轉動，用于調節所述通氣孔的可通氣區域的大小。

3.根據權利要求2所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔開合單元包括沿所述通氣孔的一周依次排布的多個旋轉葉片和多個固定軸，所述旋轉葉片與所述固定軸一一對應設置，所述旋轉葉片繞所述固定軸旋轉，多個所述旋轉葉片向所述通氣孔開合單元的中心旋進或旋出，用于調節所述通氣孔的可通氣區域的大小。

4.根據權利要求3所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔控制單元，包括第一控制部，所述第一控制部與所述通氣孔開合單元對應設置，且與所述通氣孔開合單元連接，所述第一控制部的旋轉帶動所述通氣孔開合單元中的旋轉葉片繞所述固定軸轉動。

5.根據權利要求1所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔開合單元包括至少一個推拉門和與所述推拉門對應設置的至少兩個推拉槽，所述推拉槽設置于所述通氣孔的周邊且位于所述通氣孔的相對兩側，所述推拉門相對的兩端設置于所述推拉槽中，且沿所述推拉槽的延伸方向滑動，用于調節所述通氣孔的可通氣區域的大小。

6.根據權利要求5所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔控制單元包括第一控制部，所述第一控制部與所述通氣孔開合單元對應設置，且與所述通氣孔開合單元連接，所述第一控制部的移動帶動所述通氣孔開合單元的推拉門作相同的移動。

7.根據權利要求4或6所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔控制單元還包括第二控制部；

所述第二控制部與至少一個所述第一控制部鉸接或固定連接；

所述第二控制部沿第一方向的移動，帶動所述第二控制部轉動或移動。

8.根據權利要求7所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述通氣孔沿行方向和列方向均勻分布，所述第二控制部沿所述行方向或所述列方向延伸，同一行或同一列的所述通氣孔對應的所述通氣孔開合單元耦接同一個所述第二控制部；

所述第一方向與所述行方向或所述列方向平行。

9.根據權利要求8所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，耦接同一個所述第二控制部的多個所述通氣孔開合單元中，至少部分所述通氣孔開合單元的初始開合程度不同。

10.根據權利要求7所述的顯示面板成膜設備，其特征在于，所述第二控制部由電動驅動裝置或氣動驅動裝置驅動沿所述第一方向移動。