[發明專利]用于涂敷襯底的設備

有效

• 申請號: 201710647150.5
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號: CN107686978B
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 唐·德克斯;戴夫·多沃爾德;呂德·雅各布斯;馬爾金·格坦
• 申請（專利權）人: 豪澤爾涂層技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種用于涂覆襯底(12)的設備(10)，包括：

真空腔室(14)，具有開口(44)和門(18)，所述襯底(12)通過所述開口(44)能夠被容納，以及所述門(18)配置成密封所述開口(44)；

一個或多個靶(22)，布置在所述真空腔室(14)內；

冷卻單元(20、34、36)和/或加熱單元(26)，所述冷卻單元(20、34、36)配置成冷卻所述襯底(12)以及所述加熱單元(26)配置成加熱所述襯底(12)；

旋轉裝置，配置成使襯底(12)相對于所述一個或多個靶(22)、所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)旋轉；和

提升腔室(40)，與所述真空腔室(14)的內部連通并且配置成容納所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)；

其中所述真空腔室(14)限定提升軸(X)，所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)，和所述提升腔室(40)沿著所述提升軸(X)布置；

其中所述設備(10)還包括位移裝置(42、66、68)，配置成在涂覆所述襯底的過程期間使所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)沿著所述提升軸以及在所述真空腔室(14)和所述提升腔室之間移動；以及

所述襯底(12)被支撐在可拆卸的臺(16)上，所述可拆卸的臺(16)包括用于使所述臺(16)滾動通過所述真空腔室(14)的所述開口(44)的輪式基座(46)。

2.根據權利要求1所述的設備(10)，其特征在于，所述位移裝置(42、66、68)配置成使所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)沿著所述提升軸(X)移動，從而使得所述冷卻單元(20、34、36)和/或所述加熱單元(26)不圍繞所述提升軸(X)旋轉。

3.根據權利要求1或2所述的設備(10)，其特征在于，所述設備(10)包括冷卻單元(20、34、36)和加熱單元(26)，并且所述位移裝置(42、66、68)配置成使所述冷卻單元(20、34、36)和所述加熱單元(26)移動。

4.根據權利要求3所述的設備(10)，其特征在于，所述位移裝置(42、66、68)配置成使所述冷卻單元(20、34、36)和所述加熱單元(26)之一獨立于另一個而移動。

5.根據權利要求3所述的設備(10)，其特征在于，所述冷卻單元限定中空主體，所述中空主體配置成封閉所述加熱單元(26)。

6.根據權利要求1或2所述的設備(10)，其特征在于，所述冷卻單元包括至少一個冷卻通道，制冷劑配置成通過所述至少一個冷卻通道。

7.根據前述權利要求6所述的設備(10)，其特征在于，所述加熱單元由加熱液體通過所述至少一個冷卻通道而形成。

8.根據權利要求6所述的設備(10)，其特征在于，所述冷卻單元包括水冷滾筒。

9.根據權利要求1或2所述的設備(10)，其特征在于，還包括一個或多個輔助加熱元件(28)和/或一個或多個輔助冷卻元件(28)，所述一個或多個輔助加熱元件(28)布置在所述真空腔室(14)的內壁處，所述一個或多個輔助冷卻元件(28)布置在所述真空腔室(14)的內壁處。

10.根據前述權利要求9所述的設備(10)，其特征在于，所述一個或多個輔助冷卻元件(28)是冷卻板。

11.根據權利要求1或2所述的設備(10)，其特征在于，還包括溫度傳感器(30)，配置成檢測所述襯底(12)的溫度并且連接到溫度控制模塊(32)，所述溫度控制模塊配置成控制所述加熱單元(26)和所述冷卻單元(20、34、36)中的至少一個的操作。