[發(fā)明專利]一種噴頭清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710646757.1
• 申請日: 2017-08-01
• 公開（公告）號: CN107497628B
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡豐豪;吳建霖;金映秀;金東煥
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: B05B15/52
• 分類號: B05B15/52
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種噴頭清潔裝置，其特征在于，所述噴頭清潔裝置用于清除噴頭表面的藥液，所述噴頭清潔裝置包括：輸送部、吸收部和連接所述輸送部和所述吸收部的支撐部，所述支撐部用于在所述噴頭清潔裝置對所述藥液進行清除的過程中將所述輸送部和所述吸收部設(shè)置在所述噴頭上；

所述輸送部包括：

導(dǎo)氣管，用于導(dǎo)送溫度處于預(yù)設(shè)溫度范圍內(nèi)的氣體；

輸送端口，用于將所述氣體噴向位于所述噴頭表面的所述藥液，以加熱所述藥液以及將所述藥液從所述噴頭表面移除；

所述吸收部，用于吸收所述加熱后的藥液，所述吸收部包括：

吸收端口，所述輸送端口與所述吸收端口相對設(shè)置；

真空管，所述真空管底端設(shè)置有所述吸收端口，面向所述輸送端口，所述真空管通過所述吸收端口對所述加熱后的藥液進行吸收；

所述支撐部包括:

支撐桿,所述輸送部與所述吸收部分別位于所述支撐桿的兩端,所述支撐桿相對所述噴頭平移或者旋轉(zhuǎn)，以使所述吸收部全方位的吸收所述藥液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述支撐部用于在所述噴頭清潔裝置對所述藥液進行清除的過程中相對所述噴頭旋轉(zhuǎn)，以使所述輸送部和所述吸收部隨所述支撐部轉(zhuǎn)動，并在轉(zhuǎn)動過程中對所述噴頭表面的所述藥液進行清除。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述支撐部包括滾動軸承，所述滾動軸承圍繞在所述噴頭的四周。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述支撐部還包括凹槽，所述凹槽設(shè)置在滾動軸承的外圈上，所述輸送部與所述吸收部均設(shè)置有凸起部；

所述凹槽與所述凸起部相互卡嵌，用于固定支撐所述輸送部和所述吸收部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一權(quán)利要求所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述輸送端口與所述吸收端口處于同一水平高度，所述輸送端口凸出于所述噴頭的噴嘴表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述導(dǎo)氣管導(dǎo)入的氣體為常溫氣體，所述噴頭清潔裝置還包括加熱管；

所述加熱管設(shè)置在導(dǎo)氣管外側(cè)，所述加熱管包裹所述導(dǎo)氣管，用于加熱所述常溫氣體，以得到溫度處于所述預(yù)設(shè)溫度范圍內(nèi)的氣體。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴頭清潔裝置，其特征在于，所述噴頭清潔裝置還包括收集盒，所述真空管頂端具有排出端口；

所述收集盒與所述排出端口連接，用于回收所述排出端口排出的所述藥液。