[發(fā)明專利]基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710644767.1
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN107687809B
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷中慎一郎;奈良正之
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邸萬奎

1.一種基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其是用于通過使用激光束追隨后向反射器的跟蹤式激光干涉儀檢查定位機械的方法，其特征在于，該方法具有下述步驟：

在所述定位機械中安裝所述后向反射器的步驟；

判定在所述定位機械的作業(yè)空間被定位的所述跟蹤式激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)中心M的位置向量的步驟；

在位于通過所述跟蹤式激光干涉儀的所述旋轉(zhuǎn)中心M延伸的一條直線g_k的附近的至少兩個位置p_i定位所述后向反射器，通過所述定位機械檢測該后向反射器的各位置向量的步驟；

使用所述跟蹤式激光干涉儀，分別測定從至少兩個所述位置p_i分別至所述旋轉(zhuǎn)中心M的距離d_i，L，根據(jù)所述至少兩個距離d_i，L之差計算至少一個距離差Δd_ij，L的步驟；

將所述后向反射器的各位置向量坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為以所述旋轉(zhuǎn)中心M作為原點的位置向量的步驟；

計算將至少兩個所述位置向量正交投影到所述直線g_k的單位方向向量上的距離d_i，C的步驟；

根據(jù)至少兩個所述距離d_i，C計算至少一個距離差Δd_ij，C的步驟；以及

將通過所述跟蹤式激光干涉儀測定的至少一個所述距離差Δd_ij，L與通過所述定位機械測定至少一個距離差Δd_ij，C比較的步驟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其特征在于，

判定所述旋轉(zhuǎn)中心M的位置向量的步驟具有下述步驟：

(a)向希望的位置P_i移動后向反射器的步驟；

(b)通過所述定位機械測定所述后向反射器的位置向量的步驟；

(c)通過所述跟蹤式激光干涉儀測定至所述后向反射器的距離d_i，L的步驟；以及

(d)變更所述后向反射器的位置P_i，至可計算所述跟蹤式激光干涉儀的所述旋轉(zhuǎn)中心M的所述位置向量在至少合計四個位置反復(fù)所述步驟(a)～(c)的步驟，

根據(jù)測定的所述距離d_i，L及位置向量判定所述跟蹤式激光干涉儀的所述旋轉(zhuǎn)中心M的所述位置向量

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其特征在于，

作為所述位置向量的值，使用預(yù)先規(guī)定的指令值取代所述定位機械的測定值。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其特征在于，

所述至少合計四個位置之中至少一點不在相同的面上的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其特征在于，

所述定位機械進(jìn)行的所述后向反射器的位置向量或位置向量的測定是一邊使所述后向反射器移動一邊測定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的基于跟蹤式激光干涉儀的定位機械的檢查方法，其特征在于，

所述定位機械是三維坐標(biāo)測定機(CMM)。