[發明專利]壓電超聲換能器及其制備方法

有效

• 申請號: 201710643625.3
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN107511317B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 朱雁青;蘭曉東;童貝;李楊
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技(新加坡)有限公司
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 陳巍巍

1.一種壓電超聲換能器，包括中心設有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、與所述振膜相連的壓電膜，所述壓電膜包括靠近所述振膜的第一表面及遠離所述振膜的第二表面，所述壓電超聲換能器還包括設置于所述第一表面的第一電極及設置于所述第二表面的第二電極，其特征在于，所述振膜靠近基底的邊緣區域設置有通電狀態下可以產生焦耳熱使所述振膜的局部溫度上升的電阻結構,所述電阻結構設置于振膜靠近壓電膜的表面,所述壓電膜的尺寸小于振膜的尺寸，且所述壓電膜設置于所述振膜的中心位置,所述電阻結構環繞所述壓電膜設置。

2.根據權利要求1所述的壓電超聲換能器，其特征在于，所述電阻結構為折疊結構、直線結構或塊狀結構。

3.根據權利要求1所述的壓電超聲換能器，其特征在于，所述基底采用硅、藍寶石、陶瓷、玻璃或聚合物中的任意一種制備而成。

4.根據權利要求1所述的壓電超聲換能器，其特征在于，所述振膜采用二氧化硅、多晶硅、氮化硅或聚合物中的任意一種制備而成。

5.根據權利要求1所述的壓電超聲換能器，其特征在于，所述壓電膜采用氮化鋁、氧化鋅或鋯鈦酸鉛中的任意一種制備而成。

6.根據權利要求1所述的壓電超聲換能器，其特征在于，所述第一電極、第二電極采用鉬、鉑或鋁中的任意一種導電材料制備而成。

7.一種如權利要求1所述的壓電超聲轉換器的制備方法，其包括如下步驟：

制備基底，并在基底上沉積振膜；

在振膜遠離基底的一側表面的中央制備第一電極，并在振膜的邊緣制備電阻結構；

在第一電極遠離振膜的表面制備壓電膜；

在壓電膜表面制備第二電極；

在基底上蝕刻以形成空腔。