[發(fā)明專利]一種壓力傳感器及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710642627.0
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN107421681B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周威龍
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02;H01L31/18
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括：依次層疊設(shè)置的發(fā)光元件、干涉濾光結(jié)構(gòu)和感光元件；其中，

所述發(fā)光元件用于向所述干涉濾光結(jié)構(gòu)發(fā)射入射光；

所述干涉濾光結(jié)構(gòu)包括：相對設(shè)置的第一反射層和第二反射層，以及位于所述第一反射層和所述第二反射層之間的彈性支撐單元，所述彈性支撐單元、所述第一反射層和所述第二反射層形成中空腔體結(jié)構(gòu)，所述中空腔體結(jié)構(gòu)內(nèi)填充有惰性氣體；所述干涉濾光結(jié)構(gòu)用于根據(jù)施加在所述壓力傳感器上的壓力改變所述干涉濾光結(jié)構(gòu)的厚度，形成對應(yīng)所述壓力的出射光；

所述感光元件用于檢測所述出射光，并形成與所述出射光對應(yīng)的電信號。

2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述彈性支撐單元的材料為彈性透明材料。

3.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一反射層的材料為銀或鋁；所述第二反射層的材料為銀或鋁。

4.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述發(fā)光元件，包括：陰極、陽極，以及位于所述陰極和所述陽極之間的有機功能層；其中，

所述有機功能層用于在所述陰極與所述陽極施加電信號時進行發(fā)光。

5.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述有機功能層，包括：電子傳輸層、空穴傳輸層，以及位于所述電子傳輸層和所述空穴傳輸層之間的有機發(fā)光層。

6.如權(quán)利要求1-5任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述感光元件為具有呈矩陣排列的多個光電二極管的電荷耦合元件。

7.一種壓力傳感器的制作方法，其特征在于，包括：

在第一基板的上表面形成發(fā)光元件；

在所述第一基板的下表面與第二基板的上表面之間形成干涉濾光結(jié)構(gòu)；

在所述第二基板的下表面涂覆光學(xué)膠并與感光元件進行貼合；

其中，所述發(fā)光元件用于向所述干涉濾光結(jié)構(gòu)發(fā)射入射光；

所述干涉濾光結(jié)構(gòu)用于根據(jù)施加在所述壓力傳感器上的壓力改變所述干涉濾光結(jié)構(gòu)的厚度，形成對應(yīng)所述壓力的出射光；

所述感光元件用于檢測所述出射光，并形成與所述出射光對應(yīng)的電信號。

8.如權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述第一基板的下表面與第二基板的上表面之間形成所述干涉濾光結(jié)構(gòu)，具體包括：

在所述第一基板的下表面形成所述干涉濾光結(jié)構(gòu)的第一反射層；

在所述第二基板的上表面形成所述干涉濾光結(jié)構(gòu)的第二反射層；

在形成有所述第一反射層的所述第一基板的下表面，形成所述干涉濾光結(jié)構(gòu)的彈性支撐單元；

在形成的所述彈性支撐單元的邊緣涂覆壓敏膠，并與形成有所述第二反射層的所述第二基板的上表面貼合。

9.如權(quán)利要求8所述的制作方法，其特征在于，在第一基板的上表面形成發(fā)光元件，具體包括：

在所述第一基板的上表面形成層疊設(shè)置的陽極、有機功能層和陰極；

其中，所述有機功能層位于所述陰極和所述陽極之間；所述有機功能層用于在所述陰極與所述陽極施加電信號時進行發(fā)光。