[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電玻璃及其制備方法和應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710641611.8
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN107705873B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉楊;潘鋒;梁軍;閔煜鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 北京大學(xué)深圳研究生院
• 主分類號: H01B1/16
• 分類號: H01B1/16;H01B5/14;H01B13/00
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281
• 代理人: 郭燕

1.一種透明導(dǎo)電玻璃的制備方法，其特征在于：所述透明導(dǎo)電玻璃包括無定形襯底和附著在無定形襯底上的透明導(dǎo)電薄膜，所述透明導(dǎo)電薄膜為銳鈦礦相(004)取向的金屬摻雜二氧化鈦薄膜；

所述制備方法包括，采用磁控濺射技術(shù)，濺射功率為0.5-3.0W/cm²，以1-60度的傾斜角在無定形襯底表面進(jìn)行濺射，在無定形襯底表面形成薄膜，然后進(jìn)行退火處理使薄膜結(jié)晶，得到銳鈦礦相(004)取向的二氧化鈦薄膜，即形成所述透明導(dǎo)電玻璃；所述傾斜角是指濺射離子束流偏離垂直離子束流的角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述傾斜角的角度為10-60度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的的制備方法，其特征在于：所述傾斜角的角度為11-30度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于：所述退火處理的條件為，在真空或惰性氣氛或還原氣氛中，250-650℃保溫0-10h。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于：所述退火處理?xiàng)l件為，在真空或惰性氣氛或還原氣氛中，350-400℃保溫0.5-1h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于：在退火處理之前，還包括對薄膜進(jìn)行氯化物溶液浸泡處理、薄膜表面沉積金屬或半導(dǎo)體或高分子聚合物處理、紫外臭氧輻照處理、紅外線輻照處理中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的制備方法制備的透明導(dǎo)電玻璃。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于：所述導(dǎo)電薄膜的晶粒生長方向排布一致。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于：所述金屬摻雜二氧化鈦薄膜中摻雜元素為鈮和/或鉭。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于：所述鈮的摻雜的量為總重量的0.1-20％，所述鉭摻雜的量為總重量的0.1-20％。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于：所述鈮的摻雜的量為總重量的1.5-7％，所述鉭摻雜的量為總重量的1.5-7％。

12.根據(jù)權(quán)利要求7-11任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于：所述無定形襯底為玻璃、石英、聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯和聚碳酸酯中的至少一種。

13.根據(jù)權(quán)利要求7-12任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電玻璃在太陽能電池中的應(yīng)用。