[發明專利]一種用于SPR檢測儀的棱鏡及其制作方法在審
| 申請號: | 201710640965.0 | 申請日: | 2017-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN107356996A | 公開(公告)日: | 2017-11-17 |
| 發明(設計)人: | 孟凡偉;陳順;余杰 | 申請(專利權)人: | 杭州晶百檢測技術有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/04 | 分類號: | G02B5/04;G02B1/10;G01N21/55 |
| 代理公司: | 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙)11465 | 代理人: | 王鵬 |
| 地址: | 310000 浙江省杭州市西湖*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 spr 檢測 棱鏡 及其 制作方法 | ||
1.一種用于SPR檢測儀的棱鏡,其特征在于,包括:主體和金膜;所述金膜鍍于所述主體的頂端端面上。
2.根據權利要求1所述的一種用于SPR檢測儀的棱鏡,其特征在于,所述主體的形狀包括三棱錐、半圓柱或梯形體。
3.根據權利要求1所述的一種用于SPR檢測儀的棱鏡,其特征在于,所述主體由樹脂材料制作而成。
4.根據權利要求1所述的一種用于SPR檢測儀的棱鏡,其特征在于,所述金膜的厚度范圍30~100nm。
5.一種用于SPR檢測儀棱鏡的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)開模加工:首先采用精密開模設備加工模具,以樹脂材料為原料,進行所述主體的生產加工;
(2)清洗:使用中性清洗劑清洗所述主體頂端表面,并用去離子水沖洗3~5遍;
(3)干燥:使用鼓風機進行干燥15~20min,吹干水漬;
(4)鍍膜:采用磁控濺射鍍膜機鍍膜,將所述主體放置于所述磁控濺射鍍膜機入口處的傳送裝置上,啟動所述傳送裝置以及所述磁控濺射鍍膜機;靶陰極發射濺射原子,所述濺射原子穿過濺射通道附著在所述主體頂端表面,并在所述主體頂端表面形成膜層。
6.根據權利要求5所述的一種用于SPR檢測儀棱鏡的制作方法,其特征在于,所述樹脂材料包括烯丙基二甘醇碳酸酯、環氧樹脂或聚甲基丙烯酸甲酯。
7.根據權利要求5所述的一種用于SPR檢測儀棱鏡的制作方法,其特征在于,所述步驟(4)中,須先鍍一層2-5nm的鉻膜,再鍍一層30-100nm的金膜。
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