[發明專利]具有升降機構的質譜檢漏設備

在審

• 申請號: 201710639765.3
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN109323813A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 龍超祥
• 申請（專利權）人: 深圳市遠望工業自動化設備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271
• 代理人: 孫大勇

1.一種具有升降機構的質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，其特征在于，包括：支撐架、真空腔體、升降機構、示蹤氣體源、質譜檢漏裝置及控制裝置；

所述真空腔體放置在所述支撐架上，所述真空腔體內設置有用于容納所述待測箱體的容納腔；

所述升降機構包括軸承、連接軸、鏈輪、鏈條、配重塊及氣缸，所述軸承固定在所述支撐架上，所述連接軸與所述軸承相連，所述鏈輪套設在所述連接軸上，所述鏈條與所述鏈輪嚙合相連，所述鏈條的一端與所述真空腔體相連，所述鏈條的另一端與所述配重塊相連，所述氣缸的一端固定在所述支撐架上，所述氣缸的另一端與所述真空腔體相連；

所述示蹤氣體源用于為所述待測箱體提供示蹤氣體；

所述質譜檢漏裝置與真空腔體導通連接，用于檢測容納腔內的所述示蹤氣體含量，從而判斷所述待測箱體是否合格；

所述控制裝置用于控制所述升降機構、示蹤氣體源及質譜檢漏裝置工作。

2.如權利要求1所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述支撐架包括第一導軌，所述第一導軌沿著所述支撐架的縱向延伸設置；所述真空腔體一端設置有導向槽，所述第一導軌插設在所述導向槽內。

3.如權利要求1或2所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述支撐架還包括第二導軌，所述第二導軌沿著所述支撐架的縱向延伸設置；所述配重塊上固定有第一滑輪及第二滑輪，所述第一滑輪及第二滑輪分別位于所述第二導軌的兩側。

4.如權利要求3所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述配重塊設置有若干加重空間，所述加重空間與所述配重塊的外表面相連通，所述加重空間用于插入加重塊。

5.如權利要求3所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述第二導軌的橫截面呈V形，所述第一滑輪所在的平面與所述第二滑輪所在的平面形成的夾角不大于90°，所述第一滑輪與所述第二滑輪夾在所述第二導軌上。

6.如權利要求2所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述真空腔體包括上蓋體及下蓋體，所述上蓋體固定在所述支撐架上并蓋設在所述下蓋體上，所述上蓋體與所述下蓋體之間形成有所述容納腔；

所述下蓋體與所述上蓋體活動連接，所述下蓋體一端設置有所述導向槽，所述氣缸的一端與所述下蓋體相連，所述氣缸用于推動所述下蓋體沿著所述第一導軌上下運動，以使所述上蓋體與下蓋體蓋合在一起或分開。

7.如權利要求6所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述下蓋體包括支撐座、彈性支撐件及支撐板組件，所述支撐座的一端設置有所述導向槽，所述彈性支撐件固定在所述支撐座上，所述支撐板組件放置在所述彈性支撐件上，所述支撐板組件與所述上蓋體蓋合在一起，所述支撐板組件與所述彈性支撐件之間形成有間隔空間。

8.如權利要求1所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述質譜檢漏設備還包括充氣機構，所述充氣機構包括第一充氣支路及第二充氣支路，所述第一充氣支路包括第一示蹤氣體供應閥，所述第一示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第一輸出量；

所述第二充氣支路包括第二示蹤氣體供應閥，所述第二示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第二輸出量，所述第二輸出量大于所述第一輸出量。

9.如權利要求8所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述第一充氣支路還包括第一緩沖罐，所述第一緩沖罐與所述示蹤氣體源及所述第一示蹤氣體供應閥導通連接，用于暫存所述示蹤氣體源輸送過來的示蹤氣體以緩沖示蹤氣體壓力波動。

10.如權利要求9所述的具有升降機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述質譜檢漏設備還包括快充壓力開關，所述示蹤氣體源包括高壓示蹤氣體罐及示蹤氣體快充閥；所述示蹤氣體快充閥的輸入端與所述高壓示蹤氣體罐導通連接，所述示蹤氣體快充閥的輸出端與所述第一緩沖罐的輸入端及所述第二示蹤氣體供應閥的輸入端導通連接，所述快充壓力開關與所述第一緩沖罐的輸出端導通連接，用于監測所述第一緩沖罐內的氣壓并將所述第一緩沖罐內的氣壓信息傳送給所述控制裝置；所述控制裝置與所述快充壓力開關及所述示蹤氣體快充閥電連接，用于在當所述第一緩沖罐內的氣壓小于預設值時控制所述示蹤氣體快充閥打開，以使第一緩沖罐氣壓保持在預設范圍內。