[發明專利]探針裝置

有效

• 申請號: 201710638413.6
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN109283371B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 林哲圣;葉政宏
• 申請（專利權）人: 中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;鄭特強

本發明公開一種探針裝置，包括第一導板、與第一導板呈間隔設置的第二導板、及多個探針。第一導板形成有呈非圓形的多個第一孔壁。第二導板形成有與多個第一孔壁錯位設置的多個第二孔壁。每個探針具有位于第一導板與第二導板間的彎曲段、及分別插設于相互錯位的第一孔壁與第二孔壁內的第一定位段與第二定位段。在每個第一定位段及其所穿設的第一孔壁的橫剖面中，第一定位段呈圓形，第一孔壁的兩個點抵接于第一定位段并各定義為第一限位點，第一定位段的圓心與兩個第一限位點能構成不大于90度的第一圓心角。因此，本發明的探針裝置能通過第一定位段與第一孔壁的兩點接觸，借以精準控制探針的彎曲段的方向，并且降低相鄰探針間相碰觸而短路的風險。

技術領域

本發明涉及一種探針裝置，尤其涉及一種可控制探針彎曲方向的探針裝置。

背景技術

半導體芯片進行測試時，測試機通過一探針卡而與待測物電性連接，并借由信號傳輸及信號分析，以獲得待測物的測試結果。現有的探針卡通常由一電路板及一探針裝置(也就是探針頭)組成，或者還包含有設于電路板及探針裝置間的一空間轉換器(也就是載板)，探針裝置設有對應待測物的電性接點而排列的多個探針，以借由上述多個探針同時點觸相對應的電性接點。

眾所周知，探針在實際針測的過程，會受到垂直擠壓的壓力而有彎曲的現象。目前市面上大部分制作探針裝置的廠商所使用探針的橫剖面形狀皆呈圓形，且配合使用的上導板的孔壁及下導板的孔壁的形狀也皆呈圓形。為了使探針的彎曲方向較為一致，以導引孔錯位技術制作探針裝置已發展了一段時間。在一般情況，探針呈直線形，而在上導板的孔壁及下導板的孔壁呈錯位設置時，探針呈些微彎曲的形狀。

目前雖然有導引孔錯位技術可大致導正探針的彎曲方向，但是效果有限，探針的彎曲方向仍會有不穩定的情形發生。主要的原因是由于具有圓形截面的探針與圓形的導引孔孔壁于同一水平高度截面中的接觸方式為單點接觸，而當導引孔孔壁或探針的加工真圓度不佳時，會造成探針的接觸點位置偏移，進而影響了探針彎曲的方向，同時提高了相鄰探針間短路的風險，因此降低了探針裝置的制造良率。

于是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學原理的運用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。

發明內容

本發明實施例在于提供一種探針裝置，能有效地改善現有探針裝置所可能產生的缺陷。

本發明實施例公開一種探針裝置，包括：一第一導板，形成有多個第一孔壁，每個所述第一孔壁呈非圓形且包圍形成有一第一穿孔；一第二導板，與所述第一導板呈間隔設置，所述第二導板形成有多個第二孔壁，每個所述第二孔壁呈非圓形且包圍形成有一第二穿孔，多個所述第二穿孔分別與多個所述第一穿孔沿一錯位方向錯位設置；以及多個探針，各具有一彎曲段及分別位于所述彎曲段相反兩端的一第一定位段與一第二定位段，多個所述彎曲段位于所述第一導板與所述第二導板間，多個所述第一定位段分別穿設于所述第一導板的多個所述第一孔壁內，而多個所述第二定位段分別穿設于所述第二導板的多個所述第二孔壁內；其中，在每個所述第一定位段及其所穿設的所述第一孔壁的一第一橫剖面中，所述第一定位段呈圓形，所述第一孔壁的兩個點抵接于所述第一定位段并各定義為一第一限位點，并且所述第一定位段的圓心與兩個所述第一限位點能構成不大于90度的一第一圓心角。

優選地，在所述第一橫剖面中，所述第一孔壁在其兩個所述第一限位點間的部位呈直角且定義為一第一限位段，并且兩個所述第一限位點分別為所述第一限位段與所述第一定位段的兩個切點。

優選地，在所述第一橫剖面中，所述第一孔壁定義有連接兩個所述第一限位點的一第一參考線，并且所述第一參考線的一第一垂直平分線通過所述第一定位段的圓心。

優選地，在所述第一橫剖面中，所述第一孔壁定義有連接兩個所述第一限位點的一第一參考線，并且所述第一參考線的一第一垂直平分線平行于所述錯位方向。